Blank V.D., Buga S.G., Serebryanaya N.R., Dubitsky G.A., Bagramov R.H., Popov M.Yu., Prokhorov V.M., Sulyanov S.N. <...> Parkhomenko Yu.N., Skryleva E.A., Serebryanaya N.R., Blank V.D., Buga S.G. et al. <...> Соколина, А.В. Шапагин, Б.В. Спицын АЛМАЗСОДЕРЖАЩИЕ ПЛЕНКИ С МИКРО- И НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОЙ СТРУКТУРОЙ, ВЫРАЩЕННЫЕ ИЗ АКТИВИРУЕМОЙ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ (Институт физической химии и электрохимии им. <...> А.Н.Фрумкина РАН, г. Москва) e-mail: spitsyn@phyche.ac.ru, bspitsyn@yahoo.com Из смеси метана и водорода химическим газофазным осаждением выращены алмазные пленки с микро- и наноструктурой. <...> Для активации процесса использовали аномальный тлеющий разряд постоянного тока. <...> Ключевые слова: алмаз, нанокристаллические алмазные плёнки, синтез, метод CVD, подложка ВВЕДЕНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНАЯ ЧАСТЬ Нанокристаллические алмазные пленки (НАП) являются, с одной стороны, интересным объектом для изучения проблем кристаллизации алмаза, а с другой стороны, перспективным материалом для применений в различных областях техники. <...> Однако, остается довольно много вопросов, связанных с условиями возникновения нанокристаллического алмаза и их влиянию на свойства НАП [9]. <...> В большей части опубликованных работ НАП выращены методом CVD с использованием газовой смеси из углеводорода, аргона и водорода, и в них формирование НАП объясняется наличием аргона и влиянием димера углерода. <...> В работах [6-8] НАП получены методом CVD из газовых смесей без аргона и рассмотрен ряд возможных механизмов формирования таких пленок. <...> В нашей работе алмазные пленки с наноразмерной структурой получены методом CVD из смеси метан/водород с использованием для активации газовой фазы аномального тлеющего разряда постоянного тока. <...> Рост пленок проведен методом CVD из смеси, содержащей 2,5 % СН4 : 97,5 % Н2 на подложках из вольфрама. <...> Давление газовой смеси поддерживалось на уровне 70–75 Торр. <...> Для анализа поверхностной морфологии пленок применены зондовый микроскоп Multimode фирмы Veeco, США и электронный сканирующий микроскоп JEOL-JSM-6490LV. <...> Спектры комбинационного рассеяния света (КРС) в выращенных пленках <...>