2013 ДОКЛАДЫ АН ВШ РФ июль–декабрь ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ УДК 621.3.049.76 АНАЛИЗ ВЛИЯНИЯ PULL-IN ЭФФЕКТА НА ПАРАМЕТРЫ ТРЕХЭЛЕКТРОДНЫХ МЭМС В.П. <...> Доржиев2 Новосибирский государственный технический университет 1Drag@adm.nstu.ru 2B.dorzhiev@gmail.com На сегодняшний день одним из интенсивно развивающихся направлений микроэлектронной отрасли являются микроэлектромеханические системы (МЭМС). <...> Важным классом МЭМС-устройств являются приборы с электростатическим управлением: микроманипуляторы, резонаторы, переключатели, СВЧ-варакторы, виброгироскопы, преобразователи энергии и т. п. <...> Параметры этих устройств часто ограничиваются эффектом схлопывания электродов (pull-in effect). <...> Одним из таких путей является создание трехэлектродных систем. <...> В данной работе разработана математическая модель, описывающая поведение трехэлектродной МЭМС в предположении, что при подаче управляющих напряжений на подвижный электрод действуют только электрические и упругие силы. <...> Проведен анализ особенностей функционирования трехэлектродных МЭМС с учетом взаимного влияния электрических и упругих сил. <...> Показано, что в трехэлектродных системах критическими состояниями может ограничиваться не только максимальное значение управляющего напряжения, но и минимальное. <...> Получены аналитические выражения, позволяющие определить значения параметров системы, при которых она находится в критическом равновесном состоянии. <...> Определены диапазоны контролируемых перемещений подвижного электрода и величины настройки емкости симметричной и несимметричной конструкций МЭМС при изменении одного и двух управляющих напряжений. <...> Проведено сравнение параметров трехэлектродных систем с параметрами двухэлектродных. <...> ANALYSIS OF PULL-IN EFFECT INFLUENCE ON THREE-ELECTRODE MEMS PARAMETRS Dragunov V.P1., Dorzhiev V.Yu. <...> 2 Novosibirsk State Technical University 1Drag@adm.nstu.ru 2B.dorzhiev@gmail.com Currently one of the rapidly developing areas of microelectronic industries are microelectromechanical systems (MEMS). <...> The devices with electrostatic control: micromanipulators, resonators, switches, microwave varactors, vibratory gyroscopes, power converters, etc. present an important <...>