Методика по контролю свойств поверхностей в работе 1
подготовлена Титовым В.А., методы изучения свойств тонких пленок Шиковой Т.Г. В подготовке работ по модулю "Технология люминофоров и
люминесцирующих покрытий" принимали участие Прик К. Е. и Петров
Ю.И. <...> ОЧИСТКА ПОДЛОЖЕК ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ И
ДЕТАЛЕЙ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ <...> Загрязнения происходят за счет адсорбции примесей из технологических
сред, на обрабатываемых поверхностях остаются частицы полировальных
паст, продукты разложения фоторезиста, продукты травления поверхности
и т.д. <...> При ультразвуковой очистке
легкодеформируемых подложек целесообразны ультразвуковые колебания
с частотой 400 кГц, так как применение более низких частот может
деформировать или разрушить образцы. <...> При очистке подложек путем химического травления необходим
обязательный контроль шероховатости обработанных подложек, так как
она может значительно увеличиться. <...> Менее
диэлектрика.
ясен
Для
процесс
распыления
диэлектрика может быть использован ВЧ-разряд, возможно также
применение для очистки разряда постоянного тока. <...> Этот метод широко
используется на кафедре ТП и МЭТ. <...> Краевой угол смачивания
На рисунке 1 изображена капля жидкости, находящаяся в равновесии
с твердой поверхностью и газом. <...> (5)
жг
Если мы экспериментально определим углы смачивания поверхности
двумя жидкостями с различными значениями дисперсионной и полярной
компонент
поверхностного
натяжения,
то
получим
систему
двух
уравнений, в которых в качестве неизвестных будут полярная и
дисперсионная составляющие поверхностного натяжения твердого тела
(σтгd и σтгp). <...> Мы же остановимся на кратком описании
лишь самых простых, на наш взгляд, и подробнее рассмотрим процедуру
измерения θ гониометрическим методом, который используется на
кафедре ТП и МЭТ. <...> Измерение угла смачивания гониометрическим методом
На кафедре ТП и МЭТ для измерения краевых углов смачивания
поверхности
используется
гониометр,
смонтированный <...>
Технология_материалов_и_изделий_электронной_техники.pdf
Федеральное агентство по образованию Российской Федерации
Государственное образовательное учреждение высшего
профессионального образования
Ивановский государственный химико-технологический университет
Г.Д. Кротова, В.Ю. Дубровин, В.А. Титов, Т.Г. Шикова
ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ И ИЗДЕЛИЙ
ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ
Лабораторный практикум
Иваново 2007
Стр.1
УДК 621. 382
Технология материалов и изделий электронной техники:
Лабораторный практикум / Г.Д. Кротова, В.Ю. Дубровин, В.А. Титов, Т.Г.
Шикова; ГОУ ВПО Иван. Гос. хим.-технол. ун-т. - Иваново, 2007. 156 с.
ISBN 5-9616-0186-2
Лабораторный практикум включает описание 12 лабораторных работ
и необходимый для их выполнения теоретический материал по всем
модулям курса. В ряде работ сознательно опущены конкретные параметры
проведения того или иного процесса. Студенту предлагается самому
спланировать ход работы, выбрать режимы проведения процесса и тем
самым работа приобретает учебно-исследовательский характер. Элементы
исследования содержат и другие работы, представленные в пособии.
Лабораторный
практикум
предназначен
для
студентов
специальности 240306, изучающих дисциплину "Технология материалов и
изделий электронной техники".
Общие разделы и описания к лабораторным работам 1,2,3,5,6
подготовлены Кротовой Г.Д., работа 4 -Дубровиным В.Ю., работа 7 -
Петровым Ю.И. Методика по контролю свойств поверхностей в работе 1
подготовлена Титовым В.А., методы изучения свойств тонких пленок -
Шиковой Т.Г. В подготовке работ по модулю "Технология люминофоров и
люминесцирующих покрытий" принимали участие Прик К. Е. и Петров
Ю.И.
Табл. 11. Ил. 31. Библиогр.: 12 назв.
Печатается по решению редакционно-издательского совета ГОУ ВПО
Ивановского государственного химико-технологического университета
Рецензенты: кандидат химических наук Е.М. Александров (Ивановский
государственный химико-технологический
университет),
©
ГОУ
ВПО
доктор
технических наук В.К. Семенов (Ивановский государственный
энергетический университет).
ISBN 5-9616-0186-2
государственный
технологический университет, 2007
2
Ивановский
химико
Стр.2
ОГЛАВЛЕНИЕ
1. ОЧИСТКА ПОДЛОЖЕК ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ И ДЕТАЛЕЙ
ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ............................................................3
1.1. Лабораторная работа № 1........................................................................3
2. ТЕХНОЛОГИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК...........................................................24
2.1. Лабораторная работа № 2 Получение тонких пленок методом
термического испарения в вакууме............................................................24
2.2. Лабораторная работа № 3 Нанесение тонких пленок методом
катодного распыления...................................................................................31
2.3. Лабораторная работа № 4 Получение пленок методом ионноплазменного
распыления..............................................................................36
2.4. Лабораторная работа № 5 Получение пленок методом
магнетронного распыления ..........................................................................48
2.5. Методы изучения свойств полученных пленок ..................................58
2.6. Лабораторная работа № 6 Фотолитография........................................70
3. ИЗГОТОВЛЕНИЕ ОКСИДНОГО КАТОДА
И ЕГО
ИСПЫТАНИЕ В РАЗБОРНОЙ ЛАМПЕ........................................................75
3.1. Лабораторная работа №7.......................................................................75
3.1.1. Синтез карбонатов щелочноземельных металлов .......................76
3.1.2. Испытание карбонатов щелочноземельных металлов ................88
3.1.3. Монтаж арматуры лампы ...............................................................94
3.1.4. Приготовление карбонатной суспензии и нанесение покрытия на
керн катода...............................................................................................100
3.1.5. Вакуумная обработка катода в разборной диодной лампе.......105
3.1.6. Тренировка и испытание катода в диодной лампе ....................111
4. ТЕХНОЛОГИЯ ЛЮМИНОФОРОВ И ЛЮМИНЕСЦИРУЮЩИХ
ПОКРЫТИЙ.....................................................................................................117
4.1. Лабораторная работа №8 Синтез и исследование люминофоров...117
4.2. Лабораторная работа №9 Определение модуля и концентрации
раствора силиката........................................................................................133
4.3. Лабораторная работа № 10 Оценка мокрой прочности экрана.......137
4.4. Лабораторная работа №11 Нанесение люминесцирующего
покрытия методом катафореза...................................................................144
4.5. Лабораторная работа №12 Ознакомление с технологией
нанесения люминофора методом фотопечати..........................................148
154
Стр.154
Кротова Галина Дмитриевна
Дубровин Владимир Ювенальевич
Титов Валерий Александрович
Шикова Татьяна Григорьевна
ТЕХНОЛОГИЯ МАТЕРИАЛОВ И ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ
ТЕХНИКИ
Лабораторный практикум
Редактор В.Л. Родичева
Подписано в печать 19.12.06. Формат 60×84 1/16. Бумага писчая. Усл.
печ. л. 9,07. Уч.-изд.л. 10,06. Тираж 50 экз. Заказ
ГОУ ВПО Ивановский государственный химико-технологический
университет
Отпечатано на полиграфическом оборудовании кафедры экономики и
финансов ГОУ ВПО "ИГХТУ"
153000, г. Иваново, пр. Ф.Энгельса, 7
156
Стр.156