НАНОИНДУСТРИЯ 16/2 (120)/2023
Научно-технический журнал
иВыпускается при содействии Министерства промышленности
индек торговли Российской Федерации. Журнал включен в Российский
с научного цитирования, в базу RSCI на платформе Web
of Science и в Перечень ВАК (с 18.03.2016)
Редакционный совет:
ЛАТЫШЕВ Александр Васильевич, д.ф.-м.н., академик РАН, директор
института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения
РАН, г. Новосибирск, Россия
ЛУКИЧЁВ Владимир Федорович, чл.-корр. РАН, д.ф.-м.н., директор
ФТИАН, Москва, Россия
САУРОВ Александр Николаевич, д.т.н., проф., академик РАН, директор
Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
СИГОВ Александр Сергеевич, д.ф.-м.н., проф., академик РАН, президент
Московского технологического университета (МИРЭА)
ЧАПЛЫГИН Юрий Александрович, д.т.н., проф., академик РАН, президент
Национального исследовательского университета "МИЭТ"
Редакционная коллегия:
СВЕТУХИН Вячеслав Викторович, д.ф.-м.н., член-корреспондент РАН,
проф., директор НПК "Технологический центр" (главный редактор журнала
"НАНОИНДУСТРИЯ"), Москва, Россия
АЛЁШИН Алексей Николаевич, к.ф.-м.н., доц., зам. гл. редактора журнала
"НАНОИНДУСТРИЯ", Москва, Россия
БАСАЕВ Александр Сергеевич, к.ф.-м.н., зам. директора ГНЦ РФ ГУ НПК
"Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
БУЛЯРСКИЙ Сергей Викторович, д.ф.-м.н., проф., чл.-корр. Академии
наук Республики Татарстан, проректор по научной работе Ульяновского
государственного университета, заведующий кафедрой инженерной
физики, г. Ульяновск
БЫКОВ Виктор Александрович, д.т.н., проф., генеральный директор
ЗАО "НТ-МДТ", Москва, Россия
ВЕРНИК Петр Аркадьевич, директор Института стратегий развития, Москва,
Россия
КАНЕВСКИЙ Владимир Михайлович, к.ф.-м.н., зам. директора Института
кристаллографии им. А.В.Шубникова РАН, Москва, Россия
ЛУЧИНИН Виктор Викторович, д.т.н., проф., директор Центра микроэлектроники
Минобразования РФ при СПбГТУ, Санкт-Петербург, Россия
МАЛЬЦЕВ Петр Павлович, д.т.н., проф., научный руководитель Института СВЧ
полупроводниковой электроники РАН, зам. председателя Экспертного совета ВАК,
Москва, Россия
ТЕЛЕЦ Виталий Арсеньевич, д.т.н., проф., директор института экстремальной
прикладной электроники НИЯУ МИФИ, Москва, Россия
ТИМОШЕНКОВ Сергей Петрович, д.т.н., проф., директор Института
нано- и микросистемной техники НИУ МИЭТ (Институт НМСТ, НИУ МИЭТ),
Зеленоград, Россия
ШЕЛЕПИН Николай Алексеевич, д.т. н., проф., руководитель научного
направления "Микроэлектроника" ИНМЭ РАН, Москва, Россия
ЯМИНСКИЙ Игорь Владимирович, д.ф.-м.н., проф., генеральный
директор ООО НПП "Центр перспективных технологий", Москва, Россия
Главный редактор: В.В.СВЕТУХИН
Зам. главного редактора: А.Н.АЛЁШИН
Корректор: А.В.ЛУЖКОВА
Отв.секретарь: Э.А.ГАЗИНА journal@electronics.ru
Дизайн и компьютерная верстка: А.С.БОДРОВ
88
96
106
114
124
132
140
144
152
Том 16 № 2 2023
СОДЕРЖАНИЕ
Нанотехнологии
ТЕОРИЯ И ПРАКТИКА СКАНИРУЮЩЕЙ ЗОНДОВОЙ
МИКРОСКОПИИ: НОВЫЕ РЕШЕНИЯ ДЛЯ ФИЗИКИ,
ХИМИИ, БИОЛОГИИ И МЕДИЦИНЫ
А.И.Ахметова, О.В.Иванов, Н.Е.Максимова, Т.О.Советников,
А.Д.Терентьев, И.В.Яминский
ТЕОРЕТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ПРОЦЕССА
ПЕРЕМАГНИЧИВАНИЯ МАГНИТОРЕЗИСТИВНОЙ
НАНОСТРУКТУРЫ МАГНИТНОЙ СТРЕЙНТРОНИКИ
Д.А.Жуков, П.А.Поляков, В.В.Амеличев, С.И.Касаткин, О.П.Поляков,
Д.В.Костюк
АСМ-ИССЛЕДОВАНИЕ ПОСТ-ЭФФЕКТА ДВИЖЕНИЯ
АНАЛИТИЧЕСК ГЛИЦЕРИНА В ВЫХОДНОЙ ЧАСТИ ПРОТОЧНОЙ
СВОЙСТВА БЕЛКА
Ю.Д.Иванов, И.Д.Шумов, А.Ф.Козлов, М.О.Ершова, А.А.Валуева,
И.А.Иванова, В.Ю.Татур, А.А.Лукьяница, Н.Д.Иванова,
Е.Д.Неведрова, В.С.Зиборов
АНАЛИТИЧЕСКИЙ ОБЗОР МЕТОДОВ ПОЛУЧЕНИЯ
К ВЖИГАЕМЫХ И НЕВЖИГАЕМЫХ ОМИЧЕСКИХ
ТКОСВЕННЫЙ МЕТОД ОПРЕДЕЛЕНИЯ
ПООЛЩИНЫ ТОНКИХ ПЛЕНОК МЕТАЛЛОВ
СЕЛЕНА
А.В.Смирнов
ОЙ СИСТЕМЫ НА АДСОРБЦИОННЫЕ
ОНТАКТОВ К НАНОГЕТЕРОСТРУКТУРАМ НА ОСНОВЕ
НИТРИДА ГАЛЛИЯ
А.В.Неженцев, К.А.Царик
ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОМУ ЭФФЕКТУ НА ПЛЕНКАХ
Наноматериалы
СИНТЕЗ И ИССЛЕДОВАНИЕ НАНОКОМПОЗИТОВ
ПЛЕНОК ОКСИДА НИКЕЛЯ И ЛИНЕЙНОЦЕПОЧЕЧНОГО
УГЛЕРОДА
А.В.Смирнов
Оборудование
для наноиндустрии
ПЕРИФЕРИЙНЫЕ ДАТЧИКИ ДЛЯ СКАНИРУЮЩЕЙ
ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ
А.Д.Терентьев, И.В.Яминский
КМОДЕЛИРОВАНИЕ ХИМИЧЕСКИХ РЕАКТОРОВ.
ОНФИГУРАЦИЯ ЭЛЕМЕНТОВ МНОГОСТАДИЙНОГО
ХИМИЧЕСКОГО РЕАКТОРА БЕСПРЕРЫВНОГО ДЕЙСТВИЯ ДЛЯ ПЕРЕМЕШИВАНИЯ ЖИДКОСТЕЙ
Д.М.Баматов, И.М.Баматов, Х.Х.Сапаев
АТТЕСТАЦИЯ НАНОЛИНЕЙНОГО ГОЛОГРАФИЧЕСКОГО
ДАТЧИКА НИ ЛДГ (РОССИЙСКАЯ ФЕДЕРАЦИЯ) И
ДАТЧИКА AT715 (ЯПОНИЯ)
Б.Г.Турухано, Н.Турухано, Ю.М.Лавров, О.Г.Ермоленко, С.Н.Ханов
Стр.4
НАНОИНДУСТРИЯ 16/2 (120)/2023
Научно-технический журнал
Свежий номер журнала Вы можете приобрести:
Москва:
В редакции журнала "НАНОИНДУСТРИЯ"
ул. Краснопролетарская, д. 16, стр. 2
Санкт-Петербург:
Екатеринбург:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
Невский пр-т, д. 44, 5-й этаж, офис 6,
т. (812) 325-7544, 117-6862, 110-4366,
root@zolshar.spb.ru
ул. Народной воли, д. 25, т. (343) 212-1810, 212-1331,
ф. (343) 212-2314, zolshar@online.ural.ru, ekp@front.ru
Новосибирск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
пр-т К.Маркса, д. 57, офис 708,
Минск:
т. (3832) 46-2473, ф. (3832) 27-6380, nbzsh@mail.ru
Ижевск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ", пл. Казинца, д. 3,
офис 456, т. (10-375-172) 78-0914,
zolshar@integral.minsk.by
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
ул. Софьи Ковалевской, д. 4а, офис 4,
т. (3412) 42-5241, т./ф. (3412) 42-5472,
office@zolshar.izhnet.ru
Подписка
•
• ООО "Урал-Пресс Округ"
• ООО "Руспресса"
• ООО "Агентство "Книга-Сервис"
• ООО "ГЛОБАЛПРЕСС"
• ООО "СЕРВИСПРЕСС"
• в редакции журнала по тел.: (495) 234-0110
• e-mail: magazine@technosphera.ru
АО "Почта России", индекс ПН759
Подписаться на электронную версию на сайтах:
www.nanoindustry.su, elibrary.ru, www.e.lanbook.ru
Foreign subscriptions are accepted
• by the Agency "Mezhdunarodnaya Kniga".
Phone: (007 495) 238-4967, Fax: (007 495) 238–4634
or by companies cooperating with Mezhkniga
• by the "Rospechat" agency catalogue "Russian
Newspapers & Magazines – 2005",
Phone: (007 495) 195-6677, 195-6418,
Fax: (007 495) 195-1431, 785-1470,
E-mail: ovs@rosp.ru, http://www.rosp.ru
Наши представители в Германии
REC Russland Experten Consulting GmbH
Olgastraße 82 89073 Ulm
T +(49) 731 145 344 94
M +(49) 151 156 820 18
n.wenzel@russland-experten.com
www.russland-experten.com
Группы научных специальностей,
по которым издание входит в Перечень ВАК
01.04.10. Физика полупроводников (технические науки)
1.3.16. Атомная и молекулярная физика (физико-математические
науки, технические науки)
2.2.3. Технология и оборудование для производства материалов
и приборов электронной техники (технические науки)
1.4.5. Хемоинформатика (химические науки, технические науки)
88
96
106
114
124
132
140
144
152
Том 16 № 2 2023
Nanotechnologies
THEORY AND PRACTICE OF SCANNING PROBE
MICROSCOPY: NEW SOLUTIONS FOR PHYSICS,
CHEMISTRY, BIOLOGY AND MEDICINE
A.I.Akhmetova, O.V.Ivanov, N.E.Maksimova, T.O.Sovetnikov, A.D.Terentiev,
I.V.Yaminsky
THEORETICAL MODEL OF THE PROCESS OF
MAGNETIZATION REVERSAL OF A MAGNETORESISTIVE
NANOSTRUCTURE OF MAGNETIC STRAINTRONICS
D.A.Zhukov, P.A.Polyakov, V.V.Amelichev, S.I.Kasatkin, O.P.Polyakov,
D.V.Kostyuk
AFM STUDY OF THE POST-EFFECT OF GLYCEROL FLOW
IN AN OUTPUT SECTION OF A FLOW-BASED ANALYTICAL
SYSTEM ON ADSORPTION PROPERTIES OF A PROTEIN
Yu.D.Ivanov, I.D.Shumov, A.F.Kozlov, M.O.Ershova, A.A.Valueva,
I.A.Ivanova, V.Yu.Tatur, A.A.Lukyanitsa, N.D.Ivanova, E.D.Nevedrova,
V.S.Ziborov
ANALYTICAL REVIEW OF METHODS FOR PRODUCING
ALLOYED AND NON-ALLOYED OHMIC CONTACTS TO
GALLIUM NITRIDE NANOHETEROSTRUCTURES
A.V.Nethentsev, K.A.Tsarik
DETERMINATION OF THIN METAL FILMS THICKNESS BY
INDIRECT METHOD USING THE INTERFERENCE EFFECT
A.V.Smirnov
Nanomaterials
SYNTHESIS AND STUDY OF NICKEL OXIDE AND LINEARCHAIN
CARBON FILM COMPOSITES
A.V.Smirnov
Equipment for nanoindustry
PERIPHERAL SENSORS FOR SCANNING PROBE
MICROSCOPY
A.D.Terentev, I.V.Yaminsky
CHEMICAL REACTOR DESIGN. THE CONFIGURATION OF
CONTINUOUS LIQUID MIXING PARTS FOR A MULTI-STAGE CHEMICAL REACTOR FOR
D.M.Bamatov, I.M.Bamatov, H.H.Sapaev
CERTIFICATION OF NM LHE NANO-LINEAR
A HOLOGRAPHIC SENSOR (RUSSIAN FEDERATION) AND
B.G.Turukhano, N.Turukhano, Yu.M.Lavrov, O.G.Ermolenko, S.N.Khanov
T715 SENSOR (JAPAN)
IN THE ISSUE
Стр.6