НАНОИНДУСТРИЯ 15/6 (116)/2022
Научно-технический журнал
иВыпускается при содействии Министерства промышленности
индек торговли Российской Федерации. Журнал включен в Российский
с научного цитирования, в базу RSCI на платформе Web
of Science и в Перечень ВАК (с 18.03.2016)
Редакционный совет:
ЛАТЫШЕВ Александр Васильевич, д.ф.-м.н., академик РАН, директор
института физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения
РАН, г. Новосибирск, Россия
ЛУКИЧЁВ Владимир Федорович, чл.-корр. РАН, д.ф.-м.н., директор
ФТИАН, Москва, Россия
САУРОВ Александр Николаевич, д.т.н., проф., академик РАН, директор
Института нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук
СИГОВ Александр Сергеевич, д.ф.-м.н., проф., академик РАН, президент
Московского технологического университета (МИРЭА)
ЧАПЛЫГИН Юрий Александрович, д.т.н., проф., академик РАН, президент
Национального исследовательского университета "МИЭТ"
Редакционная коллегия:
СВЕТУХИН Вячеслав Викторович, д.ф.-м.н., член-корреспондент РАН,
проф., директор НПК "Технологический центр" (главный редактор журнала
"НАНОИНДУСТРИЯ"), Москва, Россия
АЛЁШИН Алексей Николаевич, к.ф.-м.н., доц., зам. гл. редактора журнала
"НАНОИНДУСТРИЯ", Москва, Россия
БАСАЕВ Александр Сергеевич, к.ф.-м.н., зам. директора ГНЦ РФ ГУ НПК
"Технологический центр" МИЭТ, Москва, Россия
БУЛЯРСКИЙ Сергей Викторович, д.ф.-м.н., проф., чл.-корр. Академии
наук Республики Татарстан, проректор по научной работе Ульяновского
государственного университета, заведующий кафедрой инженерной
физики, г. Ульяновск
БЫКОВ Виктор Александрович, д.т.н., проф., генеральный директор
ЗАО "НТ-МДТ", Москва, Россия
ВЕРНИК Петр Аркадьевич, директор Института стратегий развития, Москва,
Россия
КАНЕВСКИЙ Владимир Михайлович, к.ф.-м.н., зам. директора Института
кристаллографии им. А.В.Шубникова РАН, Москва, Россия
ЛУЧИНИН Виктор Викторович, д.т.н., проф., директор Центра микроэлектроники
Минобразования РФ при СПбГТУ, Санкт-Петербург, Россия
МАЛЬЦЕВ Петр Павлович, д.т.н., проф., научный руководитель Института СВЧ
полупроводниковой электроники РАН, зам. председателя Экспертного совета ВАК,
Москва, Россия
ТЕЛЕЦ Виталий Арсеньевич, д.т.н., проф., директор института экстремальной
прикладной электроники НИЯУ МИФИ, Москва, Россия
ТИМОШЕНКОВ Сергей Петрович, д.т.н., проф., директор Института
нано- и микросистемной техники НИУ МИЭТ (Институт НМСТ, НИУ МИЭТ),
Зеленоград, Россия
ШЕЛЕПИН Николай Алексеевич, д.т. н., проф., руководитель научного
направления "Микроэлектроника" ИНМЭ РАН, Москва, Россия
ЯМИНСКИЙ Игорь Владимирович, д.ф.-м.н., проф., генеральный
директор ООО НПП "Центр перспективных технологий", Москва, Россия
Главный редактор: В.В.СВЕТУХИН
Зам. главного редактора: А.Н.АЛЁШИН
Корректор: А.В.ЛУЖКОВА
Отв.секретарь: Э.А.ГАЗИНА journal@electronics.ru
Дизайн и компьютерная верстка: А.С.БОДРОВ
СОДЕРЖАНИЕ
328
336
346
354
360
368
376
384
392
Том 15 № 6 2022
Нанотехнологии
ПРАКТИКУМ ПО ЗОНДОВОЙ МИКРОСКОПИИ
ФИЗИЧЕСКОГО ФАКУЛЬТЕТА МГУ ИМЕНИ
М.В. ЛОМОНОСОВА
И.В.Яминский, А.И.Ахметова
ЭМОДЕЛИРОВАНИЕ МЕТОДОМ КОНЕЧНЫХ
ЛЕМЕНТОВ ПРОЦЕССА ИНДЕНТИРОВАНИЯ СТАЛИ
EUROFER97 ПОСЛЕ ИОННОГО ОБЛУЧЕНИЯ
Е.В.Гладких, К.С.Кравчук, В.Н.Решетов, А.А.Русаков, А.С.Усеинов
Наноматериалы
РОЛЬ СТРУКТУРЫ ПОВЕРХНОСТИ НАНОЧАСТИЦ
В УПРОЧНЕНИИ ИМИ ЭПОКСИДНОЙ СМОЛЫ
В.В.Сызранцев
СИНЕРГЕТИЧЕСКИЕ ЭФФЕКТЫ ВЛИЯНИЯ
МИКРОПРИМЕСЕЙ НА ЭЛЕКТРОННУЮ СТРУКТУРУ
ОКСИДНО-НИКЕЛЕВЫХ КАТОДОВ
В.И.Капустин, И.П.Ли, Н.Е.Кожевникова
Оборудование
для наноиндустрии
ИССЛЕДОВАНИЕ ХАРАКТЕРИСТИК АКТУАТОРОВ
НА ОСНОВЕ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ЭЛАСТОМЕРОВ
В.С.Щербакова, А.П.Ротарь, А.М.Базиненков, Д.А.Иванова,
В.П.Михайлов
УСИЛИТЕЛЬ МОЩНОСТИ КЛАССА G
ДЛЯ ИНФОКОММУНИКАЦИОННЫХ СИСТЕМ
Е.В.Леонтьев, А.С.Коротков, Ю.А.Матвеев
ВЛИЯНИЕ ВАКУУМНОГО СОСТОЯНИЯ
НА АВТОЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА КПУ
МАГНЕТРОНОВ С МГНОВЕННОЙ ГОТОВНОСТЬЮ
И.П.Ли, В.И.Капустин, А.В.Шуманов, Д.В.Бычков, Н.Е.Леденцова,
А.А.Полунина, Ю.В.Поляков
ЭРОЗИОННОЕ ВОЗДЕЙСТВИЕ ИМПУЛЬСНОЙ
ВАКУУМНОЙ ДУГИ НА РАБОЧИЕ ПОВЕРХНОСТИ
МАЛОГАБАРИТНОГО РАЗРЯДНИКА
А.А.Козлов, С.Г.Давыдов, А.Н.Долгов, Р.Х.Якубов
Конференции, семинары,
выставки
3D ДИЗАЙН-ЦЕНТР: ВОВЛЕЧЕНИЕ МОЛОДЕЖИ
В АКТИВНОЕ ТВОРЧЕСТВО
И.В.Яминский, А.И.Ахметова
Стр.4
НАНОИНДУСТРИЯ 15/6 (116)/2022
Научно-технический журнал
Свежий номер журнала Вы можете приобрести:
Москва:
В редакции журнала "НАНОИНДУСТРИЯ"
ул. Краснопролетарская, д. 16, стр. 2
Санкт-Петербург:
Екатеринбург:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
Невский пр-т, д. 44, 5-й этаж, офис 6,
т. (812) 325-7544, 117-6862, 110-4366,
root@zolshar.spb.ru
ул. Народной воли, д. 25, т. (343) 212-1810, 212-1331,
ф. (343) 212-2314, zolshar@online.ural.ru, ekp@front.ru
Новосибирск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
пр-т К.Маркса, д. 57, офис 708,
Минск:
т. (3832) 46-2473, ф. (3832) 27-6380, nbzsh@mail.ru
Ижевск:
Пред-во "Золотой Шар ТМ", пл. Казинца, д. 3,
офис 456, т. (10-375-172) 78-0914,
zolshar@integral.minsk.by
Пред-во "Золотой Шар ТМ",
ул. Софьи Ковалевской, д. 4а, офис 4,
т. (3412) 42-5241, т./ф. (3412) 42-5472,
office@zolshar.izhnet.ru
Подписка
•
• ООО "Урал-Пресс Округ"
• ООО "Руспресса"
• ООО "Агентство "Книга-Сервис"
• ООО "ГЛОБАЛПРЕСС"
• ООО "СЕРВИСПРЕСС"
• в редакции журнала по тел.: (495) 234-0110
• e-mail: magazine@technosphera.ru
АО "Почта России", индекс ПН759
Подписаться на электронную версию на сайтах:
www.nanoindustry.su, elibrary.ru, www.e.lanbook.ru
Foreign subscriptions are accepted
• by the Agency "Mezhdunarodnaya Kniga".
Phone: (007 495) 238-4967, Fax: (007 495) 238–4634
or by companies cooperating with Mezhkniga
• by the "Rospechat" agency catalogue "Russian
Newspapers & Magazines – 2005",
Phone: (007 495) 195-6677, 195-6418,
Fax: (007 495) 195-1431, 785-1470,
E-mail: ovs@rosp.ru, http://www.rosp.ru
Наши представители в Германии
REC Russland Experten Consulting GmbH
Olgastraße 82 89073 Ulm
T +(49) 731 145 344 94
M +(49) 151 156 820 18
n.wenzel@russland-experten.com
www.russland-experten.com
Группы научных специальностей,
по которым издание входит в Перечень ВАК
01.04.10. Физика полупроводников (технические науки)
1.3.16. Атомная и молекулярная физика (физико-математические
науки, технические науки)
2.2.3. Технология и оборудование для производства материалов
и приборов электронной техники (технические науки)
1.4.5. Хемоинформатика (химические науки, технические науки)
368
376
384
392
Том 15 № 6 2022
328
336
346
354
360
Nanotechnologies
PROBE MICROSCOPY WORKSHOP AT THE PHYSICAL
DEPARTMENT OF LOMONOSOV MOSCOW STATE
UNIVERSITY
I.V.Yaminsky, А.I.Akhmetova
SIMULATION OF THE INDENTATION OF EUROFER97
STEEL AFTER ION RADIATION BY THE FINITE
ELEMENT METHOD
E.V.Gladkikh, K.S.Kravchuk, V.N.Reshetov, A.A.Rusakov, A.S.Useinov
Nanomaterials
THE ROLE OF THE SURFACE STRUCTURE OF
NANOPARTICLES IN THEIR HARDENING OF EPOXY
RESIN
V.V.Syzrantsev
TRACE IMPURITIES HAVE SYNERGISTIC EFFECTS ON
ELECTRONIC STRUCTURE OF OXIDE-NICKEL CATHODES
V.I.Kapustin, I.P.Li, N.E.Kozhevnikova
Equipment for nanoindustry
RESEARCH OF THE ACTUATORS CHARACTERISTICS
BASED ON DIELECTRIC ELASTOMERS
V.S.Shcherbakova, A.P.Rotar’, A.M.Bazinenkov, D.A.Ivanova,
V.P.Mikhailov
CLASS G POWER AMPLIFIER FOR
INFOCOMMUNICATION SYSTEMS
Ye.V.Leontiev, A.S.Korotkov, Yu.A.Matveev
INFLUENCE OF VACUUM STATE ON THE FIELD
EMISSION PROPERTIES OF CATHODE HEATING UNIT
OF MAGNETRONS WITH INSTANT READINESS
I.P.Li, V.I.Kapustin, A.V.Shumanov, D.V.Bychkov, N.E.Ledentsova,
A.A.Polunina, Yu.V.Polyakov
EROSIVE EFFECT OF A PULSED VACUUM ARC ON THE
WORKING SURFACES OF A SMALL-SIZED SPARK GAP
А.А.Kozlov, С.G.Davydov, А.N.Dolgov, R.Kh.Yakubov
Conferences, seminars, exhibitions
3D DESIGN CENTRE: INVOLVEMENT YOUNG PEOPLE
IN ACTIVE CREATIVITY
I.V.Yaminsky, A.I.Akhmetova
IN THE ISSUE
Стр.6