Экспериментально изучаются физические свойства новой модификации ВЧ разряда — гибридного ВЧ разряда (ГВЧР), поддерживаемого как вихревым, так и потенциальным ВЧ электрическими полями, создаваемыми индуктивным и емкостным каналами разряда. <...> Исследовано влияние индуктивного канала на параметры приэлектродных слоев пространственного заряда, определяющих емкостную составляющую физического механизма ГВЧР! <...>