Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 609962)
Контекстум
Микроэлектроника (РАН)

Микроэлектроника (РАН) №3 2024 (3110,00 руб.)

0   0
Страниц100
ID902514
АннотацияОснован в 1972 г. Публикуются статьи, посвященные технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии, травлению, легированию, осаждению и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях, плазменным технологиям, молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реальном времени. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость.
Микроэлектроника (РАН) .— Москва : Российская академия наук (РАН) .— 2024 .— №3 .— 100 с. — URL: https://rucont.ru/efd/902514 (дата обращения: 11.04.2025)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

Облако ключевых слов *


* - вычисляется автоматически