Микроэлектроника (РАН) №2 2024 (3110,00 руб.)

Страниц	74

ID	902513
Аннотация	Основан в 1972 г. Публикуются статьи, посвященные технологическим, физическим и схемотехническим аспектам микро- и наноэлектроники. Особое внимание уделяется новым тенденциям в литографии, травлению, легированию, осаждению и планаризации на субмикронном и нанометровом уровнях, плазменным технологиям, молекулярно-пучковой эпитаксии и сухому травлению, а также методам исследования и контроля поверхностей и многослойных структур. Обсуждаются вопросы приборно-технологического моделирования и диагностики технологических процессов в реальном времени. Публикуются статьи о полупроводниковых приборах на базе новых физических явлений, таких как квантовые размерные эффекты и сверхпроводимость.

Микроэлектроника (РАН) .— Москва : Российская академия наук (РАН) .— 2024 .— №2 .— 74 с. — URL: https://rucont.ru/efd/902513 (дата обращения: 11.04.2025)