Вакуумные системы источников синхротронного излучения (300,00 руб.)

Стр.2

Стр.3

УДК 621.521:533.59(075.8) Б 489 Рецензенты: д-р техн. наук, профессор СГУПС А. М. Попов д-р техн. наук, профессор НГТУ В. П. Разинкин Б 489 по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» Беркин А. Б. Работа подготовлена на кафедре электронных приборов для студентов II–III курсов РЭФ, обучающихся Вакуумные системы источников синхротронного излучения: учебное пособие / А. Б. Беркин, А. А. Краснов. – Новосибирск: Изд-во НГТУ, 2022. – 80 с. ISBN 978-5-7782-4831-1 Рассмотрены основные требования к вакуумным системам современных источников синхротронного излучения (СИ), особенности их проектирования и расчета. Основной акцент сделан на определяющую роль поверхности в сверхвысоковакуумных установках. Рассмотрены современные подходы к использованию компактных комбинированных насосов, распределенных насосов на основе геттерных материалов и покрытий в реализации эффективной откачки остаточных газов в протяженных вакуумных системах. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования. Работа подготовлена в рамках мероприятий по выполнению Соглашения № 075-15-2021-1359/1 на реализацию отдельных мероприятий Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019–2027 гг. УДК 621.521:533.59(075.8) ISBN 978-5-7782-4831-1 © Беркин А. Б., Краснов А. А., 2022 © Новосибирский государственный технический университет, 2022

Стр.2

Содержание Введение .................................................................................................................. 4 1. Требования к вакуумным системам современных источников СИ ................ 6 2. Источники газовой нагрузки ............................................................................ 11 2.1. Термодесорбция ....................................................................................... 13 2.2. Десорбция под действием СИ ................................................................. 22 3. Средства откачки и измерения вакуума источников СИ .............................. 27 3.1. Форвакуумные насосы ............................................................................. 28 3.2. Высоковакуумные насосы ....................................................................... 32 3.2.1. Турбомолекулярный насос ............................................................. 32 3.2.2. Физико-химические методы получения вакуума ......................... 34 3.3. Средства измерения давления ................................................................. 43 3.3.1. Тепловые преобразователи давления ............................................. 44 3.3.2. Электронный (ионизационный) преобразователь давления ........ 48 3.3.2. Магнитный преобразователь давления .......................................... 52 3.4. Масс-спектрометрические газоанализаторы ......................................... 55 4. Основы расчета вакуумных систем источников СИ ...................................... 63 4.1. Расчет профиля давления в протяженной вакуумной камере .............. 63 4.2. Протяжённая вакуумная система с сосредоточенными насосами ....... 68 4.3. Протяжённая вакуумная система с применением распределенных средств откачки ........................................................................................ 75 Библиографический список ................................................................................. 78

Стр.3