Теоретические основы растровой электронной микроскопии и энергодисперсионного анализа наноматериалов (759,00 руб.)

Стр.2

Стр.3

УДК 537.533.35:620.3(075) ББК 22.338+30.6я73 Т33 Авторы: Д. А. Полонянкин, А. И. Блесман, Д. В. Постников, А. А. Теплоухов Рецензенты: В. И. Струнин, д.ф.-м.н., профессор, зав. кафедрой экспериментальной физики и радиофизики ОмГУ им. Ф. М. Достоевского; П. М. Корусенко, к.ф.-м.н., н.с. лаборатории физики наноматериалов и гетероструктур Омского научного центра СО РАН Теоретические основы растровой электронной микроскопии ISBN 978-5-8149-2914-3 Представлены теоретические основы методов растровой электронной микроскопии и энергодисперсионного анализа, а также аспекты их применения к исследованию размеров, формы, состава, структуры и других физико-химических свойств наноматериалов. Пособие разработано в соответствии с федеральным государстУДК 537.533.35:620.3(075) ББК 22.338+30.6я73 Печатается по решению редакционно-издательского совета Омского государственного технического университета Т33 и энергодисперсионного анализа наноматериалов : учеб. пособие / [Д. А. Полонянкин и др.] ; Минобрнауки России, ОмГТУ. – Омск : Изд-во ОмГТУ, 2019. – 116 с. : ил. венным образовательным стандартом высшего образования и предназначено для обучающихся по направлению подготовки 28.03.02, 28.04.02 «Наноинженерия». ISBN 978-5-8149-2914-3 © ОмГТУ, 2019 2

Стр.2

ОГЛАВЛЕНИЕ ВВЕДЕНИЕ ................................................................................................................. 4 1. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ .................................................................................................. 5 1.1. Возможности, особенности и преимущества методов РЭМ и ЭДА как универсального инструмента прикладных и фундаментальных исследований ................................................................................................... 5 1.2. Устройство растрового электронного микроскопа ..................................... 7 1.3. Термоэлектронная эмиссия ............................................................................ 9 1.4. Распределение электронов по скоростям и энергиям ............................... 16 1.5. Пробеги электронов в веществе .................................................................. 22 Контрольные вопросы ......................................................................................... 60 2. ТЕОРЕТИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ ЭНЕРГОДИСПЕРСИОННОГО АНАЛИЗА .... 61 2.1. Закон Мозли .................................................................................................. 61 2.2. Обратноотраженные электроны .................................................................. 68 2.3. Композиционный и топографический контраст ......................................... 81 Контрольные вопросы ......................................................................................... 85 3. ПОДГОТОВКА ОБРАЗЦОВ К ИССЛЕДОВАНИЮ МЕТОДАМИ РЭМ и ЭДА .................................................................................. 86 4. РАБОТА С УПРАВЛЯЮЩЕЙ ПРОГРАММОЙ ЭЛЕКТРОННОГО МИКРОСКОПА JEOL JMC-5700 ....................................................................... 88 4.1. Основные функции ....................................................................................... 88 4.2. Юстировка электронной пушки микроскопа ............................................. 91 4.3. Параметры формируемого изображения и дополнительные функции меню электронного микроскопа JEOL JMC-5700 ..................................... 92 5. ОБЛАСТИ ПРИМЕНЕНИЯ РЭМ и ЭДА .......................................................... 95 ЗАКЛЮЧЕНИЕ ...................................................................................................... 102 БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК .................................................................. 103 ПРИЛОЖЕНИЕ А. Микрофотография перегоревшей нити вольфрамового катода ......................................................................................... 112 ПРИЛОЖЕНИЕ Б. Микрофотографии образца во вторичных (SEI) и обратноотраженных электронах, топографический (BET) и композиционный контраст (BEC) .................................................................. 113 ПРИЛОЖЕНИЕ В. Микрофотографии углеродных нанотрубок, полученные методом РЭМ, увеличение ×1000, ×3000 и ×10 000 крат ......... 114 ПРИЛОЖЕНИЕ Г. Микрофотографии образцов алмазоподобных растворов, полученных методом РЭМ, увеличение ×3000, ×15 000 и ×30 000 крат ...... 115 3

Стр.3