Вакуумная техника. Оборудование, проектирование, технологии, эксплуатация. В 2 ч. Ч. 2. Вакуумные насосы (290,00 руб.)

Стр.2

Стр.3

Стр.4

Стр.5

УДК 621.52 ББК 31.77 Б 91 Хабланян М. Х. Вакуумная техника. Оборудование, проектирование, технологии, эксплуатация : учебное пособие: в 2 ч. Ч. 2: Вакуумные насосы / М. Х. Хабланян, Г. Л. Саксаганский, А. В. Бурмистров; М-во образ. и науки России, Казан. нац. исслед. технол. ун-т. – Казань : Изд-во КНИТУ, 2016. – 300 с. ISBN 978-5-7882-1977-6 Рассмотрены физико-технические характеристики, конструкторские решения, технологические и эксплуатационные особенности вакуумных насосов и агрегатов, используемых в промышленности и научном приборостроении. Описаны особенности их эксплуатации и методики испытаний. Предназначено для бакалавров и магистров по направлениям подготовки «Технологические машины и оборудование», «Техническая физика», «Ядерная энергетика и теплофизика», «Наноинженерия». Подготовлено на кафедре «Вакуумная техника электрофизических установок». Печатается по решению редакционно-издательского совета Казанского национального исследовательского технологического университета Рецензенты: д-р техн. наук, проф. Ю. В. Панфилов д-р техн. наук, проф. Р. Р. Зиганшин ISBN 978-5-7882-1977-6 © Хабланян М. Х., Саксаганский Г. Л., Бурмистров А. В., 2016 © Казанский национальный исследовательский технологический университет, 2016

Стр.2

СОДЕРЖАНИЕ Обозначения, используемые в тексте Предисловие Введение 1. ФОРВАКУУМНЫЕ НАСОСЫ 1.1. Базовые характеристики 1.2. Вакуумные насосы с масляным уплотнением 1.2.1. Пластинчатые насосы 1.2.2. Плунжерные (золотниковые) насосы 1.2.3. Рабочие жидкости. Обратный поток 1.2.4. Откачка парогазовых смесей. Газобалласт 1.3. Жидкостно-кольцевые насосы 1.4. Безмасляные насосы 1.4.1. Сорбционные насосы 1.4.2. Роторные насосы 1.4.3. Винтовые насосы 1.4.4. Поршневые насосы 1.4.5. Спиральные насосы 1.4.6. Мембранные насосы 1.5. Образование мелкодисперсных частиц Вопросы для самоконтроля 2. ПАРОСТРУЙНЫЕ (ДИФФУЗИОННЫЕ) НАСОСЫ 2.1. Принцип действия 2.2. Базовая конструкция 2.3. Рабочие жидкости 2.4. Основные рабочие характеристики 2.4.1. Производительность 2.4.2. Наибольшее выпускное давление 2.4.3. Степень сжатия 2.4.4. Предельное остаточное давление 2.5. Обратный поток рабочей жидкости 2.6. Дополнительные проектные и эксплуатационные характеристики 6 7 8 12 12 12 12 27 29 36 38 41 42 43 58 61 66 77 84 90 92 92 99 102 106 113 116 118 121 123 134 3

Стр.3

2.6.1. Критерии проектирования и оптимизации 2.6.2. Потери рабочей жидкости 2.6.3. Кипятильник 2.6.4. Флюктуации давления 2.7. Экраны и ловушки 2.7.1. Охлаждаемые колпачки и экраны 2.7.2. Азотные ловушки 2.8. Эксплуатация 2.8.1. Эксплуатационные особенности 2.8.2. Энергетические показатели 2.8.3. Эксплуатационная безопасность насосов Вопросы для самоконтроля 3. МОЛЕКУЛЯРНЫЕ И ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЕ НАСОСЫ 3.1. Общие сведения 3.2. Молекулярные насосы 3.2.1. Сводные характеристики 3.2.2. Расчётная модель 3.2.3. Эксплуатационные характеристики 3.3. Турбомолекулярные насосы 3.3.1. Принцип функционирования 3.3.2. Основы проектирования 3.3.3. Конструкция и основные характеристики 3.3.4. Быстрота действия и компрессия по индивидуальным газам 3.4. Гибридные и комбинированные насосы 3.5. Особенности эксплуатации 3.6. Сравнительные характеристики 3.6.1. Достоинства турбонасосов 3.6.2. Недостатки турбонасосов Вопросы для самоконтроля 4. КРИОГЕННЫЕ НАСОСЫ 4.1. Физические основы криогенной откачки 4.2. Базовая конструкция насосов с автономными криогенераторами 4 134 136 137 138 140 141 145 151 151 153 155 156 158 158 160 164 167 170 175 175 177 182 187 193 202 205 206 208 209 210 210 213

Стр.4

4.3. Эксплуатационные характеристики 4.3.1. Быстрота действия 4.3.2. Производительность. Сорбционная ёмкость 4.4. Дросселирование крионасосов 4.5. Регенерация 4.6. Криогенная откачка водяных паров 4.7. Криогенераторы Вопросы для самоконтроля 5. ГЕТТЕРНАЯ И ИОННАЯ ОТКАЧКА 5.1. Геттерные насосы 5.2. Магнитные электроразрядные насосы 5.3. Откачные характеристики разрядных насосов 5.4. Эксплуатация разрядных насосов 5.5. Средства откачки на основе нераспыляемых геттеров 5.6. «Чистые» системы предварительного разрежения Вопросы для самоконтроля 6. ПЕРЕГРУЗКА ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ 6.1. Эксплуатация высоковакуумных насосов в зоне максимальной производительности 6.1.1. Пароструйные насосы 6.1.2. Турбомолекулярные насосы 6.1.3. Насосы поверхностного действия 6.2. Сопоставительные оценки и выводы Вопросы для самоконтроля Литература Приложение 1. Испытания механических насосов с масляным уплотнением Приложение 2. Испытания двухроторных насосов 218 218 222 225 227 232 236 241 242 242 249 254 258 262 270 272 273 273 273 275 279 281 282 283 285 Приложение 3. Испытания пароструйных и турбомолекулярных насосов 291 293 298 Приложение 4. Испытания геттерных и криогенных насосов 296 Приложение 5. Испытания сорбционных насосов 5

Стр.5