ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Известия высших учебных заведений.
ЭЛЕКТРОНИКА
Том 27, № 4, 2022
июль – август
Научно-технический журнал
Издается с 1996 г.
Выходит 6 раз в год
Учредитель и издатель: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Главный редактор: Чаплыгин Юрий Александрович – академик РАН, д.т.н.,
проф., МИЭТ (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Редакционная коллегия:
Гаврилов Сергей Александрович – заместитель главного редактора, д.т.н., проф., МИЭТ
(Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-2967-272X
Бахтин Александр Александрович – канд.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Беневоленский Сергей Борисович – д.т.н., проф., ФГБНУ «Научно-исследовательский
институт – Республиканский исследовательский научно-консультационный центр
экспертизы» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-3177-9136
Беспалов Владимир Александрович – чл.-корр. РАН, д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Боргардт Николай Иванович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-8015-7603
Гаврилов Сергей Витальевич – д.т.н., проф., Институт проблем проектирования в микроэлектронике
РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Гагарина Лариса Геннадьевна – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-7591-9175
Гапоненко Сергей Васильевич – акад. НАН Беларуси, д.физ.-мат.н., проф., Белорусский
республиканский фонд фундаментальных исследований (Минск, Беларусь),
ORCID: 0000-0003-3774-5471
Горбацевич Александр Алексеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Душкин Александр Викторович – д.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-8078-8971
Коноплёв Борис Георгиевич – д.т.н., проф., Южный федеральный университет (Таганрог,
Россия), ORCID: 0000-0003-3105-029X
Коркишко Юрий Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., НПК «Оптолинк» (Москва, Россия)
Королёв Михаил Александрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Красников Геннадий Яковлевич – акад. РАН, д.т.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Лабунов Владимир Архипович – акад. НАН Беларуси, иностранный член РАН, д.т.н.,
проф., Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
(Минск, Беларусь), ORCID: 0000-0002-3494-4881
Меликян Вазген Шаваршович – чл.-корр. НАН Армении, д.т.н., проф., ЗАО «Синопсис
Армения» (Ереван, Армения), ORCID: 0000-0002-1667-6860
Неволин Владимир Кириллович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
Неволин Владимир Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., Национальный исследовательский
ядерный университет «МИФИ» (Москва, Россия)
© «Известия вузов. Электроника», 2022
© МИЭТ, 2022
Стр.3
Переверзев Алексей Леонидович – д.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Петросянц Константин Орестович – д.т.н., проф., Национальный исследовательский
университет «Высшая школа экономики» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Сазонов Андрей Юрьевич – PhD, проф., Университет Ватерлоо (Канада),
ORCID: 0000-0003-0974-1262
Сауров Александр Николаевич – акад. РАН, д.т.н., проф., Институт нанотехнологий
микроэлектроники РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Светухин Вячеслав Викторович – чл.-корр. РАН, д.физ.-мат.н., проф.,
НПК «Технологический центр» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-0831-9254
Селищев Сергей Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Сигов Александр Сергеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., МИРЭА – Российский технологический
университет (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Сидоренко Анатолий Сергеевич – акад. АН Молдовы, д.физ.-мат.н., проф.,
Институт электронной инженерии и нанотехнологий АНМ (Кишинев, Молдова),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Телец Виталий Арсеньевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский ядерный
университет «МИФИ» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-4944-676X
Тимошенков Сергей Петрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Хорев Анатолий Анатольевич – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия)
Юриш Сергей Юрьевич – канд.т.н., IFSA Publishing, S.L. (Барселона, Испания),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Заведующая редакцией И. М. Доронина
Редактор А. В. Тихонова
Корректор И. В. Проскурякова
Верстка А. Ю. Рыжков, С. Ю. Рыжков
Адрес редакции: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Тел.: 8-499-734-6205
Е-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Адрес издателя: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Адрес полиграфического предприятия: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина,
д. 1, МИЭТ.
Подписано в печать 11.08.2022. Формат бумаги 6084 1/8. Цифровая печать.
Объем 16,74 усл.печ.л., 14,948 уч.-изд.л. Тираж 130 экз. Заказ № 6. Свободная цена.
Свидетельство о регистрации СМИ ПИ № ФС 77-72307 от 01.02.2018.
Включен ВАК в Перечень рецензируемых научных изданий, в которых должны быть опубликованы
основные научные результаты диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание
ученой степени доктора наук по следующим группам специальностей:
05.11.00 Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы
05.13.00 Информатика, вычислительная техника и управление
05.27.00 Электроника
Включен в Russian Science Citation Index на платформе Web of Science.
Включен в Российский индекс научного цитирования и в Рейтинг Science Index.
Является членом Crossref.
Плата за публикацию статей не взимается.
Подписной индекс в каталоге «Пресса России» ООО «Агентство «Книга-Сервис» – 38934.
Подписной индекс в каталоге «Периодические издания. Газеты и журналы»
ООО «Урал-Пресс Округ» – 47570.
422
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(4)
Стр.4
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
СОДЕРЖАНИЕ
Материалы электроники
Тихонов Р. Д., Поломошнов С. А., Амеличев В. В., Черемисинов А. А., Потапов В. C.,
Горелов Д. В., Казаков Ю. В. Механические напряжения и магнитные свойства пленок NiFe
и CoNiFe, полученных электрохимическим осаждением .................................................................... 427
Технологические процессы и маршруты
Афанасьев А. В., Ильин В. А., Лучинин В. В. Ионное легирование карбида кремния в технологии
приборов силовой электроники. Обзор .......................................................................................... 439
Румянцев А. В., Подорожний О. В., Волков Р. Л., Боргардт Н. И. Моделирование процесса
распыления карбида кремния фокусированным пучком ионов галлия.............................................. 463
Схемотехника и проектирование
Дворников О. В., Павлючик А. А., Прокопенко Н. Н., Чеховский В. А., Кунц А. В., Чумаков В. Е.
Унифицированные схемотехнические решения аналоговых арсенид-галлиевых микросхем ......... 475
Бибило П. Н., Кириенко Н. А. Схемная реализация модулярных сумматоров в заказных
КМОП СБИС и FPGA ............................................................................................................................. 489
Микро- и наносистемная техника
Браже Р. А. Влияние квантово-размерных эффектов на волновые характеристики наномасштабных
линий передачи и резонаторов ............................................................................................... 506
Малеванная Е. И., Матанин А. Р., Полозов В. И., Иванов А. И., Самойлов А. А., Бычков С. П.,
Моисеев К. М., Родионов И. А. Расчет и моделирование систем экранирования для защиты
сверхпроводниковой электроники от ИК-излучения ........................................................................... 517
Информационно-коммуникационные технологии
Егоров Н. И. Разработка высокоскоростного радиочастотного модуля управления беспроводной
связью с защитой от дублирования пакетов .................................................................................. 530
Жилинский В. О. Алгоритм компенсации остаточной погрешности определения псевдодальности
при решении навигационной задачи в абсолютном режиме .................................................... 539
Рябышенков А. С., Волкова Е. А. Кластеризация концентратора данных в составе измерительного
поста АСМОС ................................................................................................................................. 550
Краткие сообщения
Неустроев С. А. Энергия и амплитуда крутильных колебаний атомов углерода в алмазе ........... 559
Конференции
Российский форум «Микроэлектроника 2022» ............................................................ 2-я стр. обложки
К сведению авторов .............................................................................................................................. 563
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(4)
423
Стр.5
ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Proceedings of Universities.
ELECTRONICS
Volume 27, No. 4, 2022
July – August
The scientifical and technical journal
Published since 1996
Published 6 times per year
Founder and Publisher: National Research University of Electronic Technology
Editor-in-Chief: Yury A. Chaplygin – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow,
Russia), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Editorial Board:
Sergey A. Gavrilov – Deputy Editor-in-Chief, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-2967-272X
Aleksandr A. Bakhtin – Cand. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Sergey B. Benevolensky – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Scientific Research Institute – Federal Research
Centre for Projects Evaluation and Consulting Services (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3177-9136
Vladimir A. Bespalov – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Nikolay I. Borgardt – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-8015-7603
Alexandr V. Dushkin – Dr. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-8078-8971
Larisa G. Gagarina – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-7591-9175
Sergey V. Gaponenko – Acad. NAS of Belarus, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Belarusian Republican
Foundation for Fundamental Research (Minsk, Belarus), ORCID: 0000-0003-3774-5471
Sergey V. Gavrilov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute for Design Problems in Microelectronics of
RAS (Moscow, Russian), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Aleksandr A. Gorbatsevich – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical
Institute of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Anatoly A. Horev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia)
Boris G. Konoplev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Southern Federal University (Taganrog, Russia),
ORCID: 0000-0003-3105-029X
Yury N. Korkishko – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Optolink LLC (Moscow, Russia)
Mikhail A. Korolev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Gennady Y. Krasnikov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., JSC “NIIME” (Moscow, Russia)
Vladimir A. Labunov – Acad. NAS of Belarus, Foreign member of RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof.,
Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics (Minsk, Belarus),
ORCID: 0000-0002-3494-4881
Vazgen S. Melikyan – Cor. Mem. NAS of Armenia, Dr. Sci. (Eng.), Prof., CJSC Company
“Synopsys Armenia” (Yerevan, Armenia), ORCID: 0000-0002-1667-6860
© “Proceedings of Universities. Electronics”, 2022
© MIET, 2022
424
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(4)
Стр.6
Vladimir K. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
Vladimir N. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI
(Moscow, Russia)
Aleksey L. Pereverzev – Dr. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Konstantin O. Petrosyantz – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Aleksandr N. Saurov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute of Nanotechnology of Microelectronics
of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Andrey Y. Sazonov – PhD, Prof., University of Waterloo (Canada),
ORCID: 0000-0003-0974-1262
Sergey V. Selishchev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Anatolie S. Sidorenko – Acad. AS of Moldova, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Institute of the
Electronic Engineering and Nanotechnologies ASM (Chisinau, Moldova),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Aleksandr S. Sigov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIREA – Russian Technological
University (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Vyacheslav V. Svetukhin – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof.,
SMC “Technological Centre” (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0003-0831-9254
Vitaly A. Telets – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI (Moscow,
Russia), ORCID: 0000-0003-4944-676X
Sergey P. Timoshenkov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Sergey Yu. Yurish – Cand. Sci. (Eng.), IFSA Publishing, S.L. (Barcelona, Spain),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Head of editorial staff Doronina I. M.
Chief editors Tikhonova A. V., Proskuryakova I. V.
Make-up Ryzhkov S. Yu., Ryzhkov A. Yu.
Editorial Board’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET,
editorial office of the Journal “Proceedings of Universities. Electronics”.
Tel.: +7-499-734-62-05
E-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Publisher’s and printery addresses: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET.
Signed to print 11.08.2022. Sheet size 6084 1/8. Digital printing. Conventional printed
sheets 16,74. Number of copies 130. Order no. 6. Free price.
The media registration certificate ПИ № ФС 77-72307 of 01.02.2018.
The journal is included into the List of reviewed scientific publications, in which the main scientific
results of thesis for candidate of science and doctor degrees must be published for the following
groups of specialties:
05.11.00 Instrumentation, metrology and information-measuring devices and systems
05.13.00 Computer science, computer engineering and management
05.27.00 Electronics
The journal is included into the Russian Science Citation Index on the Web of Science basis.
The journal is included into the Russian index of scientific citing and into the Rating Science Index.
Is the member of Crossref.
The fee for the publication of articles is not charged.
The subscription index in catalogue “Russian Press” LLC “Agency “Book-Service” – 38934.
The subscription index in catalogue “Periodicals. Newspapers and magazines”
LLC “Ural-Press Okrug” – 47570.
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(4)
425
Стр.7
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
CONTENTS
Electronics materials
Tikhonov R. D., Polomoshnov S. A., Amelichev V. V., Cheremisinov A. A., Potapov V. S., Gorelov D. V.,
Kasakov Ju. V. Mechanical stresses and magnetic properties of NiFe and CoNiFe films obtained by
electrochemical deposition ........................................................................................................................ 427
Technological processes and routes
Afanasev A. V., Ilyin V. A., Luchinin V. V. Ion doping of silicon carbide in the technology of power
electronics devices. Review ....................................................................................................................... 439
Rumyantsev A. V., Podorozhniy O. V., Volkov R. L., Borgardt N. I. Simulation of silicon carbide
sputtering by gallium focused ion beam .................................................................................................... 463
Circuit engineering and design
Dvornikov O. V., Pavlyuchik A. A., Prokopenko N. N., Tchekhovski V. A., Kunts A. V., Chumakov V. E.
Unified circuitry solutions for analog gallium-arsenide microcircuits ...................................................... 475
Bibilo P. N., Kirienko N. A. Circuit implementation of modular adders in custom CMOS VLSI
and FPGA .................................................................................................................................................. 489
Micro- and nanosystem technology
Brazhe R. A. The influence of quantum-dimensional effects on the wave characteristics of nanoscale
transmission lines and resonators .......................................................................................................................... 506
Malevannaya E. I., Matanin A. R., Polozov V. I., Ivanov A. I., Samoylov A. A., Bychkov S. P.,
Moiseev K. M., Rodionov I. A. Calculation and simulation of shielding systems for the protection of
superconducting electronic circuits from IR radiation ....................................................................................... 517
Information-communication technologies
Egorov N. I. Development of high-speed radiofrequency wireless control module with anti-replay
protection .................................................................................................................................................................. 530
Zhilinskiy V. O. Residual pseudorange error compensation algorithm for code-based positioning
service in absolute mode ......................................................................................................................................... 539
Riabyshenkov A. S., Volkova E. A. Clustering of the data concentrator as part of the ASMOS
measuring post ........................................................................................................................................... 550
Brief reports
Neoustroev S. A. Carbon atoms’ torsional vibrations energy and amplitude in diamond ......................... 559
Conferences
Russian Forum “Microelectronics 2022” ............................................................................... 2nd cover page
Instructions for authors ........................................................................................................................... 563
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
426
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2022 27(4)
Стр.8