ОСОБЕННОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СТМ-ЗОНДОВ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЙ НАНООБЪЕКТОВ ПРИ БЫСТРЫХ РЕЖИМАХ СКАНИРОВАНИЯ (300,00 руб.)

Первый автор	Шелковников
Авторы	Гуляев П.В., Тюриков А.В., Сяктерев В.Н.
Страниц	7

ID	684669
Аннотация	Рассмотрены методика и устройство для изготовления атомарно острых высокожестких СТМ-зондов методом комбинированного травления вольфрамовых заготовок с автоматическим отключением процесса электрохимического травления. Определены состав и соотношение смеси для многоступенчатого травления вольфрамовой заготовки в комбинированном режиме (электрохимическое и химическое травление). Показано, что применение предложенного пьезопривода в качестве актуатора подачи позволяет в автоматизированном режиме с высокой точностью контролировать степень погружения заготовки зонда в электролит для стабильного воспроизводства оптимального профиля зонда.
УДК	621.385.833

ОСОБЕННОСТИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ СТМ-ЗОНДОВ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЙ НАНООБЪЕКТОВ ПРИ БЫСТРЫХ РЕЖИМАХ СКАНИРОВАНИЯ / Е.Ю. Шелковников [и др.] // Химическая физика и мезоскопия .— 2017 .— №4 .— С. 148-154 .— URL: https://rucont.ru/efd/684669 (дата обращения: 17.06.2024)