ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Известия высших учебных заведений.
ЭЛЕКТРОНИКА
Том 25, № 1, 2020
январь – февраль
Научно-технический журнал
Издается с 1996 г.
Выходит 6 раз в год
Учредитель и издатель: Национальный исследовательский университет «МИЭТ»
Главный редактор: Чаплыгин Юрий Александрович – академик РАН, д.т.н.,
проф., МИЭТ (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Редакционная коллегия:
Гаврилов Сергей Александрович – заместитель главного редактора, д.т.н., проф., МИЭТ
(Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-2967-272X
Бахтин Александр Александрович – канд.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Беневоленский Сергей Борисович – д.т.н., проф., ФГБНУ «Научно-исследовательский
институт – Республиканский исследовательский научно-консультационный центр экспертизы»
(Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-3177-9136
Быков Дмитрий Васильевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский университет
«Высшая школа экономики» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-4935-7292
Гаврилов Сергей Витальевич – д.т.н., проф., Институт проблем проектирования в микроэлектронике
РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Гапоненко Сергей Васильевич – акад. НАН Беларуси, д.физ.-мат.н., проф., Белорусский
республиканский фонд фундаментальных исследований (Минск, Беларусь),
ORCID: 0000-0003-3774-5471
Горбацевич Александр Алексеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Грибов Борис Георгиевич – чл.-корр. РАН, д.хим.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Коноплев Борис Георгиевич – д.т.н., проф., Южный федеральный университет (Таганрог,
Россия), ORCID: 0000-0003-3105-029X
Коркишко Юрий Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., НПК «Оптолинк» (Москва, Россия)
Королёв Михаил Александрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Красников Геннадий Яковлевич – акад. РАН, д.т.н., проф., АО «НИИМЭ» (Москва, Россия)
Кубарев Юрий Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., ООО «Центр плазменных и вакуумных
технологий» (Москва, Россия)
Лабунов Владимир Архипович – акад. НАН Беларуси, иностранный член РАН, д.т.н.,
проф., Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники
(Минск, Беларусь), ORCID: 0000-0002-3494-4881
Максимов Иван Александрович – PhD, проф., Университет города Лунд (Швеция),
ORCID: 0000-0003-1944-4878
Меликян Вазген Шаваршович – чл.-корр. НАН Армении, д.т.н., проф., ЗАО «Синопсис
Армения» (Ереван, Армения), ORCID: 0000-0002-1667-6860
Неволин Владимир Кириллович – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
© “Известия вузов. Электроника”, 2020
© МИЭТ, 2020
Стр.3
Неволин Владимир Николаевич – д.физ.-мат.н., проф., Физический институт
им. П.Н. Лебедева РАН (Москва, Россия)
Переверзев Алексей Леонидович – д.т.н., доц., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Петросянц Константин Орестович – д.т.н., проф., Национальный исследовательский
университет «Высшая школа экономики» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Сазонов Андрей Юрьевич – PhD, проф., Университет Ватерлоо (Канада)
Сауров Александр Николаевич – акад. РАН, д.т.н., проф., Институт нанотехнологий микроэлектроники
РАН (Москва, Россия), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Селищев Сергей Васильевич – д.физ.-мат.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Сигов Александр Сергеевич – акад. РАН, д.физ.-мат.н., проф., МИРЭА – Российский технологический
университет (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Сидоренко Анатолий Сергеевич – акад. АН Молдовы, д.физ.-мат.н., проф.,
Институт электронной инженерии и нанотехнологий АНМ (Кишинев, Молдова),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Таиров Юрий Михайлович – д.т.н., проф., Санкт-Петербургский государственный электротехнический
университет «ЛЭТИ» им. В.И.Ульянова (Ленина) (Санкт-Петербург, Россия)
Телец Виталий Арсеньевич – д.т.н., проф., Национальный исследовательский ядерный
университет «МИФИ» (Москва, Россия), ORCID: 0000-0003-4944-676X
Тимошенков Сергей Петрович – д.т.н., проф., МИЭТ (Москва, Россия),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Юриш Сергей Юрьевич – канд.т.н., IFSA Publishing, S.L. (Барселона, Испания),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Заведующая редакцией С.Г. Зверева
Редактор А.В. Тихонова
Научный редактор С.Г. Зверева
Корректор И.В. Проскурякова
Верстка А.Ю. Рыжков, С.Ю. Рыжков
Адрес редакции: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ
Тел.: 8-499-734-6205
Е-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Адрес издателя: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина, д. 1, МИЭТ.
Адрес полиграфического предприятия: 124498, Россия, г. Москва, г. Зеленоград, пл. Шокина,
д. 1, МИЭТ.
Подписано в печать 11.02.2020. Формат бумаги 6084 1/8. Цифровая печать.
Объем 11,16 усл.печ.л., 11,032 уч.-изд.л. Тираж 180 экз. Заказ № 7. Свободная цена.
Свидетельство о регистрации СМИ ПИ № ФС 77-72307 от 01.02.2018.
Включен ВАК в Перечень рецензируемых научных изданий, в которых должны быть опубликованы
основные научные результаты диссертаций на соискание ученой степени кандидата наук, на соискание
ученой степени доктора наук по следующим группам специальностей:
05.11.00 Приборостроение, метрология и информационно-измерительные приборы и системы
05.13.00 Информатика, вычислительная техника и управление
05.27.00 Электроника
Включен в Российский индекс научного цитирования и в Рейтинг Science Index.
Включен в Russian Science Citation Index на платформе Web of Science.
Является членом Cross Ref.
Плата за публикацию статей не взимается.
Подписной индекс в каталоге Агентства «Роспечать» – 47570
2
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2020 25(1)
Стр.4
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
СОДЕРЖАНИЕ
Материалы электроники
Браже Р.А., Долгов Д.А. Метод определения упругих характеристик графена и других 2D
наноаллотропов ....................................................................................................................................... 7
Технологические процессы и маршруты
Белостоцкая С.О., Кузнецов Е.В., Рыбачек Е.Н., Губанова О.В. Латеральная рекристаллизация
наноструктур аморфного кремния с использованием силицида никеля ..................................... 19
Новак А.В., Новак В.Р. Исследование процесса электрохимического стоп-травления кремния
при изготовлении кантилеверов ............................................................................................................. 31
Элементы интегральной электроники
Исмаил-Заде М.Р. SPICE-модели JFET и MOSFET в широком диапазоне температур ................ 40
Схемотехника и проектирование
Гаврилов С.В., Железников Д.А., Чочаев Р.Ж. Разработка и сравнительный анализ методов
решения задачи размещения для реконфигурируемых систем на кристалле .................................... 48
Биомедицинская электроника
Телышев Д.В. Прогнозирование и оценка надежности аппаратов механического замещения
функции сердца ....................................................................................................................................... 58
Краткие сообщения
Зайнабидинов С., Назиров Д.Э. Влияние термического воздействия на электрофизические
свойства кремния, легированного редкоземельными элементами ..................................................... 69
Ефимов А.Г., Каменев А.Г., Корнеев С.А., Чистюхин В.В. Принципы проектирования бортовых
многолучевых приемных АФАР систем спутниковой связи ....................................................... 73
Комаров В.Т. СВЧ-усилитель мощности до 100 Вт на GаN-транзисторах в режиме большого
сигнала ...................................................................................................................................................... 78
Мьо Мин Тхант, Романюк В.А., Гуминов Н.В. Влияние емкостей HEMT-транзистора на основные
параметры усилителей СВЧ ...................................................................................................... 83
Памяти Таирова Юрия Михайловича.................................................................................................. 89
Юбилеи
Саурову Александру Николаевичу – 60 лет ....................................................................................... 91
Конференции
Об итогах Международной научно-практической конференции «Актуальные проблемы информатизации
в цифровой экономике и научных исследованиях – 2019» ........................................ 92
27-я Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов
«Микроэлектроника и информатика – 2020» ....................................................................................... 94
3rd International Conference on Microelectronic Devices and Technologies (MicDAT`2020),
17–19 June 2020, Tenerife (Canary Islands), Spain .......................................................... 4-я стр. обложки
К сведению авторов .............................................................................................................................. 95
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2020 25(1)
3
Стр.5
ISSN 1561-5405 (print), 2587-9960 (online)
DOI: 10.24151/1561-5405
Proceedings of Universities.
ELECTRONICS
Volume 25, No. 1, 2020
January – February
The scientifical and technical journal
Published since 1996
Published 6 times per year
Founder and Publisher: National Research University of Electronic Technology
Editor-in-Chief: Yury A. Chaplygin – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow,
Russia), ORCID: 0000-0002-7505-5175
Editorial Board:
Sergey A. Gavrilov – Deputy Editor-in-Chief, Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-2967-272X
Aleksandr A. Bakhtin – Cand. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-1107-0878
Sergey B. Benevolensky – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Scientific Research Institute – Federal Research
Centre for Projects Evaluation and Consulting Services (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3177-9136
Dmitri V. Bykov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0002-4935-7292
Sergey V. Gavrilov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute for Design Problems in Microelectronics of
RAS (Moscow, Russian), ORCID: 0000-0003-0566-4482
Sergey V. Gaponenko – Acad. NAS of Belarus, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Belarusian Republican
Foundation for Fundamental Research (Minsk, Belarus), ORCID: 0000-0003-3774-5471
Aleksandr A. Gorbatsevich – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical
Institute of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0002-1950-356X
Boris G. Gribov – Cor. Mem. RAS, Dr. Sci. (Chem.), Prof., JSC «NIIME» (Moscow, Russia)
Boris G. Konoplev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Southern Federal University (Taganrog, Russia),
ORCID: 0000-0003-3105-029X
Yury N. Korkishko – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., SMS «Optolink» (Moscow, Russia)
Mikhail A. Korolev – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-3043-1293
Gennady Y. Krasnikov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., JSC «NIIME» (Moscow, Russia)
Yuri V. Kubarev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., LLC «Center for Plasma and Vacuum Technologies»
(Moscow, Russia)
Vladimir A. Labunov – Acad. NAS of Belarus, Foreign member of RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof.,
Belarusian State University of Informatics and Radioelectronics (Minsk, Belarus),
ORCID: 0000-0002-3494-4881
Ivan A. Maksimov - PhD, Prof., Lund University (Sweden), ORCID: 0000-0003-1944-4878
Vazgen S. Melikyan – Cor. Mem. NAS of Armenia, Dr. Sci. (Eng.), Prof., CJS Company
«Sinopsis, Armenia» (Yerevan, Armenia), ORCID: 0000-0002-1667-6860
Vladimir K. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0003-4348-0377
© “Proceedings of Universities. Electronics”, 2020
© MIET, 2020
4
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2020 25(1)
Стр.6
Vladimir N. Nevolin – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., P.N. Lebedev Physical Institute of the RAS
(Moscow, Russia)
Aleksey L. Pereverzev – Dr. Sci. (Eng.), Assoc. Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5834-5138
Konstantin O. Petrosyantz – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research University Higher School
of Economics (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7969-4786
Aleksandr N. Saurov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Eng.), Prof., Institute of Nanotechnology of Microelectronics
of the RAS (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0001-7368-5977
Andrey Y. Sazonov - PhD, Prof., University of Waterloo (Canada)
Sergey V. Selishchev – Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0002-5589-7068
Anatolie S. Sidorenko – Acad. AS of Moldova, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., Institute of the
Electronic Engineering and Nanotechnologies ASM (Chisinau, Moldova),
ORCID: 0000-0001-7433-4140
Aleksandr S. Sigov – Acad. RAS, Dr. Sci. (Phys.-Math.), Prof., MIREA – Russian Technological
University (Moscow, Russia), ORCID: 0000-0003-2017-9186
Yury M. Tairov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., Saint-Petersburg Electrotechnical University (LETI)
(St. Petersburg, Russia)
Vitaly A. Telets – Dr. Sci. (Eng.), Prof., National Research Nuclear University MEPhI (Moscow,
Russia) , ORCID: 0000-0003-4944-676X
Sergey P. Timoshenkov – Dr. Sci. (Eng.), Prof., MIET (Moscow, Russia),
ORCID: 0000-0001-5411-1804
Sergey Yu. Yurish – Cand. Sci. (Eng.), IFSA Publishing, S.L. (Barcelona, Spain),
ORCID: 0000-0002-1433-260X
Head of editorial staff Zvereva S.G.
Chief editors Tikhonova A.V., Proskuryakova I.V.
Make-up Ryzhkov S.Yu., Ryzhkov A.Yu.
Editorial Board’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET, editorial
office of the Journal «Proceedings of Universities. Electronics»
Tel.: +7-499-734-62-05
E-mail: magazine@miee.ru
http://ivuz-e.ru
Publisher’s address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET
Printery address: 124498, Russia, Moscow, Zelenograd, Bld. 1, Shokin Square, MIET
Signed to print 11.02.2020. Sheet size 6084 1/8. Digital printing. Conventional printed
sheets 11,16. Number of copies 180. Order no. 7. Free price.
The media registration certificate ПИ № ФС 77-72307 of 01.02.2018.
The journal is included into the List of reviewed scientific publications, in which the main scientific
results of thesis for candidate of science and doctor degrees must be published for the following
groups of specialties:
05.11.00 Instrumentation, metrology and information-measuring devices and systems
05.13.00 Computer science, computer engineering and management
05.27.00 Electronics
The journal is included into the Russian index of scientific citing and into the Rating Science Index.
The journal is included into the Russian Science Citation Index on the Web of Science basis.
Is the member of Cross Ref.
The fee for the publication of articles is not charged.
The subscription index in catalogue of Agency Rospechat – 47570
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2020 25(1)
5
Стр.7
http://ivuz-e.ru
DOI: 10.24151/1561-5405
CONTENTS
Electronics materials
Brazhe R.A., Dolgov D.A. Method of Finding Elastic Characteristics of Graphene and Other 2D
Nanoallotropes........................................................................................................................................... 7
Technological processors and routes
Belostotskaya S.O., Kuznetsov E.V., Rybachek E.N., Gubanova O.V. Lateral Crystallization of
Amorphous Silicon Nanowires Using NickelSilicide ............................................................................... 19
Novak A.V., Novak V.R. Investigation of Electrochemical Stop-Etching Process of Silicon at Cantilevers
Fabrication ...................................................................................................................................... 31
Integrated electronics elements
Ismail-Zade M.R. JFET and MOSFET Spice Models in Wide Temperature Range .............................. 40
Engineering and design
Gavrilov S.V., Zheleznikov D.A., Chochaev R.Z. Development and Comparative Analysis of Placement
Methods for Reconfigurable Systems-on-a-Chip ............................................................................. 48
Biomedical electronics
Telyshev D.V. Mechanical Circulatory Support Systems Reliability Prediction and Assessment .......... 58
Brief reports
Zaynabidinov S., Nazirov D.E. The Effect of Thermal Treatments on the Electrophysical Properties
of Silicon Doped by Rare-Earth Elements................................................................................................. 69
Efimov A.G., Kamenev A.G., Korneev S.A., Chistyukhin V.V. Multi-Beam Receiving APAA Space
Communication Systems ........................................................................................................................... 73
Komarov V.T. Amplifier of Power up to 100 Wt Based on GAN Transistors in Large Signal Mode .... 78
Myo Min Thant, Romanyuk V.A., Guminov N.V. Effect of HEMPT Capacitances on Microwave
Amplifier Main Parameters ....................................................................................................................... 83
In memory of Tairov Yury Mikhailovich ................................................................................................ 89
Anniversaries
Saurov Aleksandr Nikolaevich is 60 years old ........................................................................................ 91
Conferences
Results of the International Scientific and Practical Conference «Actual Problems of Informatization
in the Digital Economy and Research – 2019» ......................................................................................... 92
27th All-Russian Interuniversity Scientific and Technical Conference of Students and Graduate Students
«Microelectronics and Informatics – 2020» ..................................................................................... 94
3rd International Conference on Microelectronic Devices and Technologies (MicDAT`2020),
17–19 June 2020, Tenerife (Canary Islands), Spain ................................................................... 4 cover page
Instructions for authors ........................................................................................................................... 95
ISSN 1561-5405 (print)
ISSN 2587-9960 (online)
6
Известия вузов. Электроника / Proceedings of Universities. Electronics 2020 25(1)
Стр.8