Выращивание монокристаллов германия с контролируемой структурой, содержанием примесей и оптическими свойствами (250,00 руб.)

Стр.2

Стр.3

Стр.4

Введение Министерство образования и науки Российской Федерации Сибирский федеральный университет О. И. Подкопаев, А. Ф. Шиманский, Т. О. Павлюк ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ ГЕРМАНИЯ С КОНТРОЛИРУЕМЫМИ СТРУКТУРОЙ, СОДЕРЖАНИЕМ ПРИМЕСЕЙ И ОПТИЧЕСКИМИ СВОЙСТВАМИ Монография Красноярск СФУ 2017 1

Стр.2

Введение УДК 548.55 ББК 22.375.14 П442 Р е ц е н з е н т ы: И. В. Трифанов, доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой управления качеством и стандартизации Сибирского государственного аэрокосмического университета имени академика М. Ф. Решетнёва; В. Л. Корниенко, доктор химических наук, профессор, ведущий научный сотрудник Института химии и химической технологии СО РАН Подкопаев, О. И. П442 Выращивание монокристаллов германия с контролируемыми структурой, содержанием примесей и оптическими свойствами : монография / О. И. Подкопаев, А. Ф. Шиманский, Т. О. Павлюк. – Красноярск : Сиб. федер. ун-т, 2017. – 152 с. ISBN 978-5-7638-3585-4 Обобщен экспериментальный материал отечественных и зарубежных ученых по проблеме получения монокристаллов германия с контролируемыми структурой, составом и оптическими свойствами. Представлены собственные результаты авторов по выращиванию малодислокационных и особо чистых кристаллов германия, разработке новых контейнерных материалов, исследованию поведения кислорода в германии и его влияния на структурное совершенство и свойства монокристаллов. Предназначена для студентов, обучающихся по направлениям «Материаловедение и технологии материалов», «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники», а также специалистов, занимающихся изучением и производством полупроводников. Электронный вариант издания см.: http://catalog.sfu-kras.ru ISBN 978-5-7638-3585-4 2 УДК 548.55 ББК 22.375.14 © Сибирский федеральный университет, 2017

Стр.3

Введение ОГЛАВЛЕНИЕ ВВЕДЕНИЕ ................................................................................................................... 4 1. СПОСОБЫ ПОЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ ГЕРМАНИЯ С НИЗКИМ СОДЕРЖАНИЕМ ДИСЛОКАЦИЙ И ПРИМЕСЕЙ .................. 6 1.1. Возникновение дислокаций в процессе роста кристалла из расплава ......... 6 1.2. Выращивание монокристаллов германия с низкой плотностью дислокаций методом Чохральского ................................. 12 1.3. Моделирование роста монокристаллов ......................................................... 27 1.4. Выращивание кристаллов особо чистого германия методом Чохральского .................................................................................... 38 1.5. Модифицированный метод Степанова.......................................................... 42 1.6. Метод осевого теплового потока вблизи фронта кристаллизации ............. 45 1.7. Вертикальный метод Бриджмена и метод замораживания в поле градиента температуры ....................................................................... 46 1.8. Бестигельные методы ...................................................................................... 51 2. КИСЛОРОД В ГЕРМАНИИ ................................................................................ 52 2.1. Поведение кислорода в германии .................................................................. 52 2.2. Исследование содержания оптически активного кислорода в монокристаллическом германии ................................................................. 59 2.3. Преципитаты на основе кислорода ................................................................ 67 3. ВЫРАЩИВАНИЕ МОНОКРИСТАЛЛОВ ГЕРМАНИЯ С КОНТРОЛИРУЕМЫМИ ОПТИЧЕСКИМИ СВОЙСТВАМИ .................... 73 3.1. Исследование взаимосвязи удельного электрического сопротивления и температурной стабильности оптических свойств монокристаллов германия, легированных сурьмой ..................................... 81 3.2. Выращивание монокристаллов твердых растворов германий–кремний .......................................................................................... 88 3.3. Разработка способов повышения температурной стабильности оптических свойств монокристаллов германия методом легирования ..... 95 4. КОНТЕЙНЕРЫ ДЛЯ ПЛАВЛЕНИЯ И КРИСТАЛЛИЗАЦИИ ГЕРМАНИЯ .............................................................. 104 4.1. Контейнеры на основе аморфного оксида кремния ................................... 104 4.2. Проблема смачивания поверхности контейнерных материалов расплавом германия ...................................................................................... 120 4.3. Получение особо чистого германия с использованием контейнеров для зонной плавки на основе аморфного оксида кремния ........................ 126 ЗАКЛЮЧЕНИЕ ......................................................................................................... 132 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ........................................................................................ 135 3

Стр.4