ВЫСОКОТЕРМОСТОЙКИЕ КРЕМНИЙСОДЕРЖАЩИЕ ПОЛИ(o-ГИДРОКСИАМИДЫ) И СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ КОМПОЗИЦИИ НА ИХ ОСНОВЕ (90,00 руб.)

Первый автор	Шагайко Ю. В.
Авторы	Лебедева Г. К., Большаков М. Н., Марфичев А. Ю., Рудая Л. И., Рамш С. М.
Страниц	4

ID	653286
Аннотация	Реакцией поликонденсации смеси диаминов, 3,3ʹ-дигидрокси-4,4ʹ-диаминодифенилметана и бис-(3-аминопропил)диметилсилоксана, взятых в различных мольных соотношениях, с дихлоридом изофталевой кислоты получен ряд новых полимерных связующих для создания высоко термостойких свето-чувствительных композиций, обладающих повышенной адгезией к кремнийсодержащим субстратам (SiO2, кварц, стекло, ситалл). Показано, что адгезионно прочный микрорельеф на указанных субстратах, а также подложках с металлической разводкой образуют композиции, в которых полимерное связующее содержит не менее 40 % (мол) кремнийсодержащих звеньев (сополимеры 4, 5). Во всех случаях разрешение сопоставимо с толщиной сформированной пленки. Термостойкость пленок синтезированных сополимеров и светочувствительных композиций после проведения термической полициклодегидратации ниже на 30 - 40° С по сравнению с пленками фоторезиста на основе базового гомополимера ПОА (1), что не является критичным для осуществления ряда технологических операций при создании многоуровневых микросхем.

ВЫСОКОТЕРМОСТОЙКИЕ КРЕМНИЙСОДЕРЖАЩИЕ ПОЛИ(o-ГИДРОКСИАМИДЫ) И СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ КОМПОЗИЦИИ НА ИХ ОСНОВЕ / Ю.В. Шагайко [и др.] // Известия Санкт-Петербургского государственного технологического института (технического университета) .— 2017 .— №41(67) .— doi: 10.15217/issn1998984-9.2017.41.59 .— URL: https://rucont.ru/efd/653286 (дата обращения: 13.03.2025)