ISBN 978–5–9275–1575–5 В данной монографии представлены основанные на принципах функциональной интеграции методы построения элементной базы интегральных схем и микросистем: быстродействующих логических и коммутирующих элементов ультрабольших интегральных схем, элементов интегральных систем оптической коммутации ядер в многоядерных УБИС, функционально интегрированных микромеханических гироскопов-акселерометров, элементов распределенных сенсорных систем мониторинга состояния поверхности конструкций. <...> Работа адресована специалистам в области разработки элементной базы микросистемной техники и интегральных схем, а также студентам и аспирантам, обучающимся по соответствующим направлениям. <...> Монография разработана при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации (проект №213.01–11/2014–12 «Разработка и исследование методов построения многоосевых функционально интегрированных микро- и наномеханических сенсоров угловых скоростей и линейных ускорений» в рамках базовой части государственного задания, регистрационный №01201458539). <...> ISBN 978–5–9275–1575–5 © ЮФУ, 2015 © Рындин Е.А., 2015 © Лысенко И.Е., 2015 © Денисенко М.А., 2015 © Исаева А.С., 2015 ВВЕДЕНИЕ Основной проблемой, решаемой на протяжении всей истории развития интегральной электроники, является проблема повышения степени интеграции и функциональной сложности микросхем посредством микроминиатюризации интегральных элементов. <...> При классической интеграции элементов на кристалле ключевыми задачами являются, с одной стороны, обеспечение взаимной изоляции интегральных структур, а с другой – соединение данных структур по определенной схеме. <...> Уменьшение размеров интегральных элементов, повышение плотности их размещения на кристаллах требует разработки все более совершенных методов технологический реализации изолирующих областей и интегральных соединений. <...> При этом значительное число изолированных друг от друга интегральных <...>
Функционально_интегрированные_элементы_интегральных_схем_и_микросистем.pdf
УДК 621.382.82 – 181.2
Печатается по решению редакционно-издательского совета Южного
федерального университета
(протокол №3 от 23 ноября 2013 г.)
Рецензенты:
доктор технических наук, научный руководитель ООО «Центр
нанотехнологий» Б.Г. Коноплев;
доктор технических наук, заведующий кафедрой радиотехнической
электроники института нанотехнологий, электроники и приборостроения
Южного федерального университета Г.Г. Червяков.
Е.А. Рындин, И.Е. Лысенко, М.А. Денисенко, А.С. Исаева. Функционально
интегрированные элементы интегральных схем и микросистем. – Ростов-на-Дону:
Изд-во ЮФУ, 2015. – 77 с.
ISBN 978–5–9275–1575–5
В данной монографии представлены основанные на принципах
функциональной интеграции методы построения
элементной базы
интегральных схем и микросистем: быстродействующих логических и
коммутирующих элементов ультрабольших интегральных схем, элементов
интегральных систем оптической коммутации ядер в многоядерных УБИС,
функционально интегрированных микромеханических гироскопов-акселерометров,
элементов распределенных сенсорных систем мониторинга состояния поверхности
конструкций.
Работа адресована специалистам в области разработки элементной базы
микросистемной техники и интегральных схем, а также студентам и
аспирантам, обучающимся по соответствующим направлениям.
Монография разработана при финансовой поддержке Министерства
образования и науки Российской Федерации (проект №213.01–11/2014–12
«Разработка и исследование методов построения многоосевых функционально
интегрированных микро- и наномеханических сенсоров угловых скоростей и
линейных ускорений» в рамках базовой части государственного задания,
регистрационный №01201458539).
Ил. 47. Библиогр.: 97 назв.
ISBN 978–5–9275–1575–5
© ЮФУ, 2015
© Рындин Е.А., 2015
© Лысенко И.Е., 2015
© Денисенко М.А., 2015
© Исаева А.С., 2015
Стр.4
СОДЕРЖАНИЕ
ВВЕДЕНИЕ ................................................................................................................. 3
ФУНКЦИОНАЛЬНО ИНТЕГРИРОВАННЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ НА ОСНОВЕ
КОМПЛЕМЕНТАРНЫХ СВЯЗАННЫХ КВАНТОВЫХ ОБЛАСТЕЙ ......... 4
СВЕРХБЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЕ ФУНКЦИОНАЛЬНО
ИНТЕГРИРОВАННЫЕ ЛАЗЕРЫ-МОДУЛЯТОРЫ ....................................... 20
МЕТОДЫ ПОСТРОЕНИЯ И КОНСТРУКЦИИ
МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ СЕНСОРОВ УГЛОВЫХ СКОРОСТЕЙ И
ЛИНЕЙНЫХ УСКОРЕНИЙ RR-ТИПА С ДВУМЯ ОСЯМИ
ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ....................................................................................... 37
РАСПРЕДЕЛЕННЫЕ СЕНСОРЫ МОНИТОРИНГА СОСТОЯНИЯ
КОНСТРУКЦИЙ ..................................................................................................... 54
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ....................................................................................................... 70
БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК ................................................................ 71
Стр.80