Вакуумный практикум (70,00 руб.)

ISBN 978-5-9275-0604-0 В пособии дается описание лабораторных работ практикума по физическим основам вакуумной техники, при выполнении которого студенты знакомятся с кинетикой различных молекулярных процессов в вакууме, с основными принципами получения и измерения малых давлений, а также основными принципами вакуумной тонкопленочной технологии. <...> В настоящем пособии дается описание лабораторных работ Практикума по физическим основам вакуумной техники, в котором студенту дается представление о кинетике различных молекулярных процессов в вакууме, об основных принципах получения и измерения малых давлений, а также основных принципах вакуумной тонкопленочной технологии. <...> Рекомендуется в качестве методического руководства при выполнении: – в рамках Физпрактикума (модуль 6) – «Вакуумного практикума» – лабораторного практикума (лабораторные работы № 1–5) по физическим основам вакуумной техники для студентов 2 курса дневного отделения Физического факультета специальностей: физика, радиофизика и электроника; – лабораторного практикума по вакуумной и плазменной электронике (лабораторные работы № 1, 2, 5) для студентов 3 курса дневного отделения специальности микроэлектроника и твердотельная электроника; – лабораторного спецпрактикума по вакуумной и плазменной электронике (лабораторные работы № 1–5) для студентов 3 курса дневного отделения специальности фотоника и оптоинформатика. <...> Лабораторная работа № 1 ИЗУЧЕНИЕ ГАЗОРАЗРЯДНЫХ МЕТОДОВ ПОИСКА ТЕЧИ В ВАКУУМНЫХ СИСТЕМАХ 1.1. <...> Краткий обзор методов поиска течи в вакуумных системах Известны следующие методы течеискания: – опрессовка – создание в проверяемом объеме избыточного давления газа и отыскание течи по выходу газа при погружении объема в жидкость, либо при нанесении пенящейся жидкости и др.; – манометрические методы – реализуются путем контроля за величиной давления в объеме: – при откачке (регистрируется предельный вакуум без– и при смачивании <...>