64@mail.ru ОЦЕНКА КАЧЕСТВА ВЫСОКОЧИСТЫХ КВАРЦЕВЫХ ТИГЛЕЙ, ПОЛУЧАЕМЫХ ЭЛЕКТРОДУГОВОЙ НАПЛАВКОЙ, ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ КРЕМНИЕВЫХ СТЕРЖНЕЙ ПО МЕТОДУ ЧОХРАЛЬСКОГО. <...> 1 Приведены результаты исследований технологии дуговой наплавки тиглей с использованием высокочистых кварцевых концентратов отечественного и импортного производства. <...> С использованием микроскопических исследований проведена оценка качества наплавленных поверхностей получаемых изделий по таким показателям, как прозрачность и отсутствие га зовых пузырей. <...> Проведены испытания изготовленных экспериментальных тиглей в процессе выращивания кремниевых стержней по методу Чохральского и разработан технологический процесс наплавки. <...> В мировой практике тигли из кварцевого стекла начали изготавливать в начале XX века [1, 2]. <...> Изделия формо вали из труб в графитовую форму кварцедувным методом. <...> В начале 60х гг. прошлого века в связи с появлением полупроводниковых материалов (германия, кремния), получаемых по методу Чохральского, появилась не обходимость развития промышленных технологий и оборудо вания для производства тиглей из кварцевого стекла с сум марным содержанием примесей 5—50 ppm, обладающих вы сокой вязкостью при температуре эксплуатации 1450—1500 °С и низкой растворимостью в растворе кремния [3]. <...> Ведущие мировые фирмы Heraues (Германия), GE (США), Toshiba Ceramics (Япония), Quartz et Silica (Франция), Thermal Syndicate (Англия) наладили выпуск тиглей из кварцевого стекла диаметром до 100 мм, необходимых в полупроводниковой промышленности, по различным технологиям: методом высокотемпературного паро фазного гидролиза кремнийсодержащих соединений в кисло родноводородном пламени (метод напыления); методом жидко фазного гидролиза кремнийсодержащих соединений (зольгель метод, шликерный метод); методом плавления кварцевого кон центрата в графитовой форме; методом формования выдува нием из труб; роторным методом (дуговое плавление кварце вого концентрата <...>