681.586.326:539.2 Пьезоактюаторы и пьезодвигатели с нанои микроразмерным разрешением для тестового и контрольного оборудования В. А. БАРДИН, В. А. ВАСИЛЬЕВ, П. С. ЧЕРНОВ Пензенский государственный университет, Пенза, Россия, e-mail: opto@bk.ru Исследовано состояние разработок и производства тестового и контрольного оборудования с нано- и микроразмерным разрешением. <...> Представлены результаты анализа разработок, составлена классификация пьезоактюаторов и пьезодвигателей ведущих производителей. <...> Показано, что шаговые пьезоэлектрические двигатели удовлетворяют требованиям, предъявляемым к исполнительным механизмам тестового и контрольного оборудования. <...> The results of the analysis of piezoactuators and piezo motors development of leading manufacturers are represented and made their classification. <...> Clarified the terms piezoactuator and piezo motor. <...> При проведении научных исследований и производстве современных устройств, в которых использованы нано- и микроэлектромеханические системы (НЭМС, МЭМС), требуется обеспечить работу с объектами нанометрового размера. <...> Необходим контроль с микро-, нано- и субмикронной точностью при изготовлении деталей, тестировании, проверке различных физических характеристик, а также при сборке из этих деталей узлов, блоков и заверш¸нных изделий. <...> 46 В качестве исполнительных механизмов исследовательского и тестового оборудования для нано- и микроперемещений вместо традиционных электромеханических систем (коллекторных, шаговых и бесколлекторных микроэлектродвигателей) в настоящее время используют пьезоактюаторы и пьезодвигатели на их основе, имеющие значительные преимущества перед электродвигателями. <...> При микроперемещениях на сверхнизких скоростях электродвигатели функционируют в неустойчивых режимах, что проявляется в нерегулярных колебаниях объекта позиционирования в направлении движения. <...> Пьезодвигатели обладают следующими достоинствами: высокой точностью позиционирования (до долей нанометров); самоторможением при отсутствии питания; возможностью <...>