МЕХАНИЧЕСКИЕ ИЗМЕРЕНИЯ 534.854 Измерения перемещений микрообъектов гетеродинным методом А. А. ТИТОВ Московский технологический университет, Москва, Россия, e-mail: dor7338@mail.ru Разработана структурная схема устройства для измерения перемещений микрообъектов гетеродинным методом. <...> Получены аналитические выражения для расч¸та мощности сигнала на фотопри¸мнике, периодов интерференционных картин, диапазона измерения, максимального расстояния до объекта, минимального перемещения объекта, точности измерения, что позволило определить основные параметры устройства. <...> Среди них можно отметить оптический триангуляционный, интерференционный и гетеродинный методы [14]. <...> Триангуляционный метод основан на определении и регистрации перемещения изображения объекта линейкой фотопри¸мников или видеокамерой [1]. <...> Интерференционный метод измерения малых перемещений обеспечивает высокую точность, но с его помощью сложно определить абсолютное положение объекта, так как необходимо подсчитать фазовые циклы и дробные доли интерференционных полос [23]. <...> Гетеродинный метод измерения перемещений объектов основан на формировании периода интерференционной картины, равного диапазону измерений, что позволяет проводить абсолютные измерения перемещений фотопри¸мников или зеркально-отражающих объектов [4]. <...> Однако использование гетеродинного метода для измерения перемещений диффузно-отражающих микрообъектов, таких как полистироловые микрочастицы диаметром 5 мкм [5], а также клетки микроорганизмов [4], не рассматривалось. <...> Цель данной статьи разработка устройства для измерения перемещений диффузно-отражающих микрообъектов гетеродинным методом. <...> Структурная схема разработанного устройства приведена на рис. <...> Особенность данной схемы по сравнению со схемой, представленной в [4], состоит в том, что для формирования точного и грубого каналов измерений на акустооптический модулятор (АОМ) 3 из мультиплексора 8 должны подаваться <...>