КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 621.865.8 МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ДАТЧИКИ. <...> РАЗРАБОТКА И ПРОЕКТИРОВАНИЕ П. Г. Михайлов, А. В. Варламов Рассмотрены состояние и перспективы развития микроэлектронных датчиков (МЭД), определены возможные сферы применения. <...> Предложена декомпозиция структуры МЭД, позволяющая рассматривать датчик как сложную систему. <...> Следует отметить, что МЭД, как правило, в сравнении с традиционными датчиками обладают расширенными функциональными возможностями. <...> Использование в структуре МЭД таких элементов, как запоминающее устройство, процессор, аналого-цифровой преобразователь и ряд других, позволяет достичь качественно нового уровня измерения и контроля, дающего возможность проводить диагностику, автокалибровку, запоминание и корректировку данных при согласовании со стандартным измерительным интерфейсом [1—4]. <...> При разработке первых МЭД была полностью заимствована технология интегральных схем [5]. <...> Метрологические и эксплуатационные характеристики МЭД первого поколения были неудовлетворительными, что, однако, не мешало их внедрению поначалу в бытовую технику. <...> Главным и, зачастую, определяющим при этом был стоимостной фактор, так как благодаря групповой технологии изготовления их цена была в большинстве своем ниже цены традиционных датчиков. <...> При этом их малые габариты и сравнительно высокая надежность, а также возможность простой стыковки с существующими системами управления и регулирования давали им неоспоримые преимущества перед традиционными датчиками. <...> По мере развития и совершенствования технологических процессов в микроэлектронике, а также благодаря разработке и внедрению специальных технологий, метрологические и эксплуатационные характеристики МЭД постоянно улучшались, а стоимость уменьшалась. <...> . Факт использования МЭД в автомобилях, с одной стороны, резко расширил рынок сбыта датчиков, а с другой — позволил разработать и внедрить <...>