Распопов ДИНАМИКА МЕМБРАНЫ С ЖЕСТКИМ ЦЕНТРОМ Уравнения движения ЧЭ датчика давления, выполненного в виде пластинки с жестким центром, аналогичны уравнениям (18), (19) (из работы [1]) движения ЧЭ линейного акселерометра, но с учетом действия давления в первом из уравнений (18). <...> 1 на жесткий центр 1 (с упругой перемычкой 2 между ним и корпусной пластиной 3) снизу и сверху действуют давления p1 и p2, разность которых, распределенная по площади ЧЭ, заменена силой Fд, приложенной к центру симметрии пластинки вдоль положительного направления оси OY. <...> В соответствии с первым уравнением системы (1) запишем соотношение, определяющее относиY p2 α cm (1) Fд p1 аm А [100] Массу упругих перемычек считаем значительно меньшей массы недеформируемого центра, т. е. m ≈ mц, и будем рассматривать случай однокомпонентной вибрации: yв ≠ 0; xв = zв = 0. <...> Рассуждения, относящиеся к анализу уравнений (17) [2], справедливы и для датчика давлений, нужно только к величине F добавлять силу Fд разностного давления. <...> Если мембрана работает в пределах зоны упy ·· lx в ругости материала (кремний) и lx = lz = 0 (бездефектный ЧЭ), то она абсолютно устойчива, и ей не грозит явление схлопывания [1]. <...> Имея в виду цифровые значения параметров датчиков давлений и lx = lz = 0, можно полагать, что динамические характеристики, пригодные для проектировочных расчетов датчиков давлений, определяются решением первого уравнения системы (1). <...> Примем, что линейная вибрация и давление определяются функциями: yв = yв0cosω1t; Fд = Fд0cosω2t,(3) где yв0, Fд0 — амплитудные значения вибрации и давления; ω1, ω2 — частоты. <...> Имея в виду затухание собственных колебаний, будем искать вынужденное движение мембраны (пластинки), определяемое правой частью уравнения (4). <...> Отметим вначале, что сила m(u – g) вызывает статическое смещение жесткого центра: ycm = m(u – g)/Gy,(6) относительно которого и будут происходить его вынужденные колебания, обусловленные гармоническим изменением измеряемого давления на фоне вибрационных колебаний <...>