ТЕОРИЯ И ПРИНЦИПЫ ПОСТРОЕНИЯ ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 531.768.082.14 ЕМКОСТНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ В. Д. <...> Вавилов, И. В. Вавилов, А. Н. Долгов Представлены результаты разработок емкостного преобразователя перемещений для применений в интегральных датчиках различных параметров: акселерометрах, датчиках угловых скоростей, датчиках давлений и др. <...> Отличительной чертой преобразователя является введение местной отрицательной обратной связи по переменному напряжению, питающему емкостный измерительный мост. <...> Емкостный преобразователь перемещений является наиболее популярным среди многих других, например, индуктивных, магниторезисторных, полупроводниковых на полевом эффекте и др. <...> С внедрением интегральных технологий в изготовление датчиков роль емкостных преобразователей усилилась, поскольку при этом сократилась длина соединительных проводников между подвижными узлами и электронными блоками, что в конечном итоге привело к снижению величин паразитных емкостей. <...> Чувствительный элемент [1] емкостного преобразователя на примере микроакселерометра приведен на рис. <...> Маятник, предназначенный для восприятия ускорений, одновременно является подвижным электродом емкостного преобразователя, который выполняют из проводящего кремния. <...> Неподвижный электрод неразъемно соединен с жесткой рамкой, которая с помощью консоли монолитно связана с корпусной пластиной. <...> Между электродами имеется зазор, изменяемый при отклонениях маятника. <...> Для достижения необходимых характеристик по статической и динамической точности в схеме осуществлялась проработка нескольких вариантов решений того или иного узла и выбор оптимальных. <...> 2): дифференциальную цепь измерительных емкостей C1—C2, образованных между подвижным и неподвижными электродами; ключевое устройство на полевых транзисторах Кл1—Кл4 для преобразования постоянного опорного напряжения в переменное; усилитель ОУ1, предназначенный <...>