КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.586’325:621.3.049.77 РАЗРАБОТКА ТЕХНОЛОГИИ ПОЛУЧЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА С. П. <...> Тимошенков, В. В. Калугин, С. А. Зотов Рассмотрена технология изготовления микромеханического акселерометра, использующего емкостную систему съема сигналов и предназначенного для измерения линейных ускорений подвижных объектов. <...> Представлены разработанные технологические режимы основных процессов формирования микромеханического акселерометра. <...> ВВЕДЕНИЕ Разработка технологии изготовления деталей и узлов микромеханических систем осуществлялась на основе базовой конструкции миниатюрного микромеханического акселерометра (ММА), использующего емкостную систему съема сигналов и предназначенного для измерения линейных ускорений подвижных объектов. <...> Конструкция ММА, представленная в данной работе, рассчитана и разработана на основе последних достижений в области исследований микромеханических систем [1—3]. <...> ПОЛУЧЕНИЕ ЭЛЕКТРОННОЙ ПЛАТЫ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА С помощью системы датчиков осуществляется управление и контроль чувствительного элемента (ЧЭ), размещенного на микромеханической плате. <...> На поверхности электронной платы (ЭП) формируется система емкостных датчиков на основе слоя алюминия либо золота толщиной 0,8.1 мкм. <...> Для изготовления ЭП используются пластины из стекла марки ЛК-105 диаметром 100 мм с коэффициентом линейного расширения, аналогичным кремнию. <...> На пластинах стекла проводятся последовательные процессы химической обработки: напыление слоя металла методом термического распыления; дальнейшее травление металлического слоя через фоторезистивную маску; удаление фоторезиста. <...> Когда необходимый рисунок алюми22 Sensors & Systems · ¹ 12.2007 ния или золота сформирован, проводится защита поверхности и резка пластины алмазным диском на чипы необходимого размера. <...> ПОЛУЧЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА <...>