УДК 389.531.71 О СОСТОЯНИИ МЕТРОЛОГИЧЕСКОГО ОБЕСПЕЧЕНИЯ ИЗМЕРЕНИЙ ДЛИНЫ В ДИАПАЗОНЕ 0,8.200 мкм В. А. Никоненко, В. В. Копытов Представлены результаты разработок по обеспечению единства измерений. <...> Это, в первую очередь, обусловлено развитием микроэлектроники, интегральной оптики и технологии материалов, расширяющих диапазон измерений длины вплоть до атомных размеров. <...> Обеспечение единства линейных измерений в субмикронанометровом диапазоне базируется на комплексном подходе, включающем создание и внедрение нового поколения эталонов единицы длины, а также способов и средств передачи размера данной единицы высокоточным рабочим средствам измерений, соответствующим современным требованиям измерительной техники, наукоемких технологий и международной метрологической практики. <...> Существующая система метрологического обеспечения в области измерений длины [1, 2] уже не обеспечивает воспроизведение, хранение и передачу размера единицы длины менее 1 мкм с необходимой для нужд промышленности точностью. <...> В России работы по метрологическому обеспечению в области малых длин проводятся в метрологических институтах Ростехрегулирования: ФГУП “ВНИИМ” (Санкт-Петербург), ОАО “НИЦПВ” (г. Москва) и ФГУП “СНИИМ” (г. Новосибирск). <...> В 1990-е гг. в СНИИМ были сформулированы три актуальные проблемы повышения точности метрологического обеспечения измерений малых длин: создание специальных мер малых длин как эталонных, так и рабочих, особенно в диапазоне менее 100 мкм; создание эталонных систем измерения (СИ) и вторичных эталонов для аттестации специальных мер малых длин; разработка поверочной схемы (или дополнения к государственной поверочной схеме СИ длины) и методики передачи значений единицы длины эталонным и рабочим СИ. <...> Решение этих проблем было достигнуто: — анализом методов и СИ, используемых для высокоточных измерений малых размеров в диапазоне 0,8.200 мкм и состояния их метрологического обеспечения <...>