228-66-05 E-mail: iit@mail.rb.ru Образовательный цикл МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ1 УДК 621.3.049.779 Лекция 14 РАСЧЕТНЫЕ СХЕМЫ И БАЗОВЫЕ УРАВНЕНИЯ ДВИЖЕНИЯ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ГИРОСКОПОВ В. Я. <...> Распопов ВВЕДЕНИЕ Основной конструктивный узел, определяющий функциональные возможности микромеханического гироскопа (МГ), — его чувствительный элемент (ЧЭ). <...> ЧЭ МГ представляет собой инерционную массу (ИМ) (или массы) в подвесе с приводом, обеспечивающим режим движения (РД) для ИМ, на которой при наличии переносной угловой скорости вследствие возникающего ускорения Кориолиса и соответствующих ему сил инерции генерируются вторичные колебания — режим чувствительности (РЧ). <...> На этом основании МГ иногда называют кориолисовыми гироскопами. <...> Сочетание относительного вращательного движения ИМ в РД и ее переносного вращательного движения в РЧ приводит к возникновению момента сил инерции Кориолиса, который носит название “гироскопический момент”. <...> Ускорение Кориолиса определяется векторным произведением aК = 2(Ω Ѕ V), где Ω — вектор мгновенной угловой скорости вращения подвижной системы координат; V — вектор мгновенной линейной скорости тела в подвижной системе координат. <...> Ускорение Кориолиса является вектором, длина которого равна aК = 2ΩVsinϕ,(1) Датчики и Системы · ¹ 8.2008 25 где ϕ — угол между векторами Ω и V, направленный перпендикулярно векторам Ω и V в такую сторону, чтобы кратчайший поворот от Ω к V казался наблюдателю, смотрящему с конца вектора aК, идущим против часовой стрелки. <...> 1 приведена принципиальная схема ЧЭ МГ, состоящего из ИМ 1 (величиной m) и подвеса из упругих элементов 3, 4, скрепленных с основанием 5 (показано условно). <...> Элементы 2 обеспечивают целостность и жесткость в местах сопряжения упругих элементов. <...> Привод какой-либо физической природы (электростатический, электромагнитный и т. д.), не показанный на рисунке, функционально входит в состав ЧЭ. <...> Мгновенный вектор линейной скорости ИМ в РД имеет проекции на оси <...>