УДК: 621.382.661.249.1:66.94 МДП-СЕНСОРЫ ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЙ КОНЦЕНТРАЦИЙ H2S В ВОЗДУХЕ В ДИАПАЗОНЕ 0,005.10 ppm Л. Н. Калинина, А. В. Литвинов, А. А. Михайлов, И. Н. Николаев Исследованы статические характеристики МДП-сенсоров H2S в диапазоне 2.7 ppm. <...> Показано, что сенсоры со структурами Pd—SiO2—Si и Pd—Si3N4—Si обладают достаточным разрешением по концентрации H2S и приемлемым временным ресурсом работы. <...> Сделан вывод о возможности применения таких сенсоров в качестве чувствительных элементов газоанализаторов для контроля предельно допустимых концентраций H2S в рабочей зоне. <...> Во-первых, необходимо измерять концентрации на уровне десятков—сотен ppb (1 ppb = хемолюминесцентные, электрохимические и полупроводниковые чувствительные элементы (ЧЭ). <...> Так как каждый из этих типов ЧЭ обладает существенными недостатками, задача поиска и разработки ЧЭ новых типов остается актуальной. <...> В 1975 г. была открыта чувствительность к H2S так называемых МДП (металл — диэлектрик — полупроводник) сенсоров со структурой Pd—SiO2—Si [1]. <...> В дальнейшем, благодаря применению =10–3 ppm = 10–7 об. %) из-за малых уровней предельно допустимых концентраций (ПДК) как в жилой, так и в рабочей зонах. <...> Во-вторых, характеристики сенсоров H2S различных типов, как правило, деградируют даже при очень малых концентрациях сероводорода из-за его высокой химической активности. <...> В настоящее время для измерения малых концентраций применяются 16 лазерной технологии изготовления пленочных элементов МДП-сенсоров и созданию новой модели их чувствительности, удалось преодолеть большинство обнаруженных ранее недостатков [2, 3]. <...> Более того, был разработан и изготовлен макет газоанализатора для диапазона 5.200 ppb (область ПДК жилой зоны) [4]. <...> Успешные испытания такого типа газоанализаторов позволили поставить вопрос о расширении диапазона измеряемых концентраций с целью создания газоанализаторов и для рабочей зоны. <...> МЕТОДИКА ПРОВЕДЕНИЯ ЭКСПЕРИМЕНТА Основу МДП-сенсора составляет МДП-структура (рис. <...> По-существу <...>