УДК 681.586.73 КОМПЬЮТЕРИЗИРОВАННЫЙ МОДУЛЬ ОПТИЧЕСКОГО КОНТРОЛЯ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ПОКРЫТИЙ В ПРОЦЕССЕ ИХ ВАКУУМНОГО ОСАЖДЕНИЯ О. Д. <...> Вольпян, И. С. Мануйлович, О. Е. Сидорюк Рассмотрены вопросы создания модуля оптического контроля интерференционных покрытий в процессе их вакуумного осаждения на основе спектрального анализа в реальном масштабе времени проходящего или отраженного от образца излучения. <...> Показаны возможности модуля с оптическим датчиком на основе CCD-матрицы для контроля процессов осаждения ряда тонкопленочных покрытий. <...> Развитие квантовой электроники и лазерной техники постоянно ставит новые задачи в области создания интерференционных покрытий с особыми спектральными характеристиками. <...> Обычно технологические установки оборудованы оптико-электронными блоками, позволяющими регистрировать динамику изменения отражения монохроматического света при нанесении на поверхность образца-“свидетеля” прозрачного диэлектрического покрытия [1]. <...> При этом излучение с необходимой для процесса длиной волны получают от полихромного источника, снабженного соответствующим спектральным селектором. <...> Широко используются интерференционные фильтры, призменные, решеточные и акустооптические монохроматоры. <...> Напылительные установки оборудуются сканирующим монохроматором на основе перестраиваемого акустооптического фильтра [2, 3] или используются спектрометры с традиционным монохроматором на основе призм, дифракционных решеток, где для регистрации оптического спектра в реальном масштабе времени имеется многоэлементный датчик из линейки фотодиодов [4—7]. <...> Настоящая работа посвящена разработке одного из вариантов модуля оптического контроля (МОК) интерференционных покрытий в процессе их вакуумного осаждения. <...> Как и многие другие аналогичные устройства, МОК основан на достижениях интегральной оптоэлектроники последнего времени в области создания одномерных и многомерных датчиков изображения <...>