лей гальванически изолированы от магистрали VME с помощью устройств изоляции ISO и преобразователей напряжения DC/DC. <...> 5) может содержать до 16 тензометрических модулей различного типа. <...> Цифровые тензометрические системы для экспериментальных исследований в аэродинамических установках и на испытательных стендах // Матер. <...> Интегральные схемы: Микросхемы для аналого-цифрового преобразования и средств мультимедиа. <...> : ДОДЭКА, 1996 г. Юрий Константинович Блокин-Мечталин — канд. техн. наук, доцент, зам. нач. отдела ФГУП “Центральный аэрогидродинамический институт им. <...> 556-32-77 E-mail: mera@tsagi.ru УДК 531.768:621.3.049.77 ИССЛЕДОВАНИЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКОГО АКСЕЛЕРОМЕТРА НА БАЗЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ “ЕМКОСТЬ — НАПРЯЖЕНИЕ” XXXXЧМ2Т С. П. Тимошенков, С. А. Анчутин, Е. С. Морозова, А. С. Шалимов Рассмотрен микромеханический акселерометр емкостного типа на базе преобразователя “емкость — напряжение” ххххЧМ2Т, разработанного ОАО “Ангстрем”. <...> Микромеханический акселерометр (ММА) представляет собой устройство, предназначенное для измерения линейного ускорения. <...> Достоинствами ММА являются низкая стоимость, малые габариты, невысокое энергопотребление, высокая ударо- и вибропрочность. <...> Областью применения микромеханических акселерометров являются системы управления подвижными объектами, автомобильные системы безопасности, компьютерная техника и др. <...> На кафедре “Микроэлектроника” Московского института электронной техники (МИЭТ) разработан ММА, чувствительный элемент которого представляет собой инерционную массу, подвешенную на упругих торсионах [1]. <...> В качестве конструкционного материала для изготовления ЧЭ выбран кремний — широко распространенный материал, технология обработки которого хорошо изучена. <...> При воздействии ускорения происходит отклонение подвижной части ЧЭ, что приводит к изменению его электростатических емкостей, величины которых несут информацию о величине и направлении приложенного IN1 R3 Зарядовый усилитель D <...>