УДК 681.84.086.8 ПЬЕЗОРЕЗОНАНСНЫЕ ДАТЧИКИ ПАРАМЕТРОВ НАНОРАЗМЕРНЫХ ПЛЕНОК В. Н. <...> Симонов Рассмотрены возможности применения известного класса пьезорезонансных измерительных преобразователей в задачах исследования и технологического контроля параметров таких наноразмерных объектов, как тонкие и сверхтонкие пленки. <...> Обсуждаются основные технические параметры и возможности пьезорезонансных датчиков для нанотехнологии. <...> Приводится обзор наиболее известных примеров использования пьезорезонансных датчиков в мировой и отечественной практике. <...> Знание термодинамики и кинетики этих материалов является основополагающим для оценки их характеристик и долговременной стабильности. <...> Технология пьезорезонансных или, как их еще называют, кварцевых нановесов идеально подходит для этого. <...> Пьезоэлектрический кварцевый резонатор широко используется в качестве чувствительного элемента в науке и технологии достаточно давно. <...> Резонансная частота сдвиговых по толщине колебаний кварцевой пластины АТ-среза изменяется под воздействием небольшой массы, нанесенной на ее поверхность [1]. <...> Основной причиной применения 62 кварцевого резонатора является высокая чувствительность к изменению массы на его поверхности. <...> Наибольшее распространение получили кварцевые весы на резонаторах толщинно-сдвиговой моды (ТСМ) колебаний. <...> 1, а) представляют собой тонкую кварцевую пластину АТ-среза с А ЧКР Э А—А ИНС ЧКР металлическими электродами на обеих сторонах пластины. <...> Кварцевые весы могут быть использованы во множестве различных физических, физико-химических, биохимических исследованиях и технологических процессах. <...> Минимально регистрируемые кварцевыми резонансными весами приращения массы составляют 10–8.10–11 г, поэтому в последнее время они используются как инструмент для контроля массопереноса в диапазонах масс от микродо пикограммов. <...> Кварцевый чувствительный резонатор (а) и структурная схема датчика (б): ЧКР — чувствительный <...>