166 технологии С технической точки зрения, реализация этого способа чуть сложнее и даже хитрее (если такое сравнение уместно). <...> 7 показано, как осуществляется пульсация газов (реагентов) в реакционной камере по патенту [7]. <...> Импульсный режим подачи используется для всех газов, участвующих в процессе (TG1, TG2, TG3, TG4). <...> Кроме того, могут быть использованы различные продолжительности импульсов, разные комбинации импульсной подачи реагентов, заполнение пауз в импульсной подаче одних реагентов импульсной подачей других и т. д. <...> В технологических процессах изготовления разных типов микросхем можно найти достаточно много операций, где очень дорогой и малопроизводительный метод ALD можно заменить импульсным CVD. <...> Скорость процесса CVD примерно на два-три порядка выше, чем ALD. <...> Экономическую эффективность такого перехода можно только недооценить. <...> Как вы думаете, использует ли компания Samsung Electronics импульсный метод CVD в массовом производстве? <...> Диаграмма подачи реагентов в реактор по патенту [7] Прогресс не стоит на месте. <...> В компании Samsung Electronics c небольшим отставанием от Intel уже освоена 14-нм технология изготовления микросхем [6]. <...> Прогресс обеспечивается не только повышением разрешения литографического оборудования, но и тем, что элементы микросхем все больше и больше уходят из плоскости вглубь кремниевой пластины. <...> Как следствие, самыми актуальными становятся, с одной стороны, технологии формирования очень узких и очень глубоких отверстий, с другой — технологии их заполнения. <...> Реальный пример появления и решения такой проблемы в новом типе памяти Phase Change Memory приведен в этой статье. <...> Если же смотреть шире, то аналогичные проблемы имеют место и в других типах памяти, в том числе в NAND Flash Memory, SRAM, DRAM, которые уже давно и в массовом масштабе изготавливаются в компании Samsung Electronics. <...> Поэтому не случайным было появление второго патента, в котором импульсный метод заполнения глубоких отверстий предлагается использовать в технологии <...>