ХРОНИКА К содержанию РУССКАЯ АССОЦИАЦИЯ МЭМС — ШАГ ВПЕРЕД НА ПУТИ РАЗВИТИЯ МЭМС-ТЕХНОЛОГИЙ В РОССИИ Д. М. <...> Урманов Исполнительный директор Русской Ассоциации МЭМС, канд. техн. наук На современном этапе активного совершенствования микроэлектроники и нанотехнологий широкое распространение получило развитие микроэлектромеханических систем, которые принято называть МЭМС. <...> Английским эквивалентом этого термина является сочетание “Micro Electro Mechanical Systems” (MEMS). <...> Под этой аббревиатурой ученые и специалисты понимают миниатюрные системы, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты, созданные по технологии от 1 до 100 мкм. <...> Другими словами, МЭМС — это множество микроустройств самой разнообразной конструкции и назначения, которые производятся с использованием современных технологических приемов микроэлектроники. <...> Уникальность МЭМС-устройств заключается в том, что они способны не просто улучшать технические характеристики электронных изделий, но и “оживлять” их, делать восприимчивыми к происходящему. <...> Благодаря новейшим разработкам сейчас становятся реальными казавшиеся ранее невозможными функции техники. <...> Теперь она “воспринимает” звуковую информацию, “читает” тексты, а встроенные в нее микродатчики позволяют принимать сигналы человеческого мозга, реагировать на движения, распознавать лица, предметы и многое другое. <...> Кроме того, потребность в развитии МЭМС-технологий обусловливается их широкой областью применения, сочетанием высокой надежности и приемлемой стоимости, а также чрезвычайно малым размером, который позволяет использовать их в различных миниатюрных устройствах: от механических часов до имплантатов для человека. <...> Сейчас рынок МЭМС становится одним из наиболее быстрорастущих в электронной области, хотя его зарождение можно отнести еще к концу Датчики и Системы · ¹ 10.2010 73 Главной целью Ассоциации на сегодняшний день является образование в России единого <...>