КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.586.72:543.27 ТЕХНОЛОГИЯ ПОЛУЧЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ МЕМБРАННЫХ СТРУКТУР ДЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ДАТЧИКОВ1 Д. С. Веселов, С. А. Воронов, Ю. А. Воронов, Л. К. Орлова, Б. И. Подлепецкий Приведены результаты разработки новой технологии получения диэлектрических мембранных структур для интегральных газочувствительных датчиков с пониженной потребляемой мощностью. <...> Разработанная технология, основанная на разделении операции травления колодцев под мембраны на два этапа, позволяет все операции проводить групповым образом, что может повысить производительность при серийном производстве датчиков. <...> Ключевые слова: газочувствительный датчик, чувствительный слой, мембрана, полупроводниковая подложка, тонкая пленка, нагревательный элемент. <...> Технология микроэлектромеханических систем — МЭМС-технология — зародилась еще в 1960-е годы, когда были выявлены уникальные механические свойства кремния, в котором можно создавать профилированные микроструктуры (мембраны, балки, консоли, полости, микроотверстия и др.) <...> . Самыми первыми разработками на основе МЭМС-технологий стали датчики давления и ускорения на основе кремниевых мембранных и балочных структур, серийные образцы которых появились в середине 1970-х г. В период 1980—2000 гг. на основе МЭМС-технологий были созданы чувствительные и актюаторные элементы для акселерометров, барометров, электронных весов, гироскопов, микрофонов, сопла для струйных принтеров, микрозеркала, микродвигатели, микрокоммутаторы и другие микроустройства. <...> В настоящее время МЭМС-технологии и наноэлектромеханические технологии (НЭМС-технологии) используются также для создания элементов интегральных газочувствительных (ГЧ) датчиков с пониженной потребляемой мощностью [2, 3]. <...> При этом для дальнейшего снижения потребляемой мощности и повышения быстродействия вместо кремниевых мембран предлагается использовать <...>