К содержанию КОНЦЕПЦИЯ РАЗВИТИЯ ПРОИЗВОДСТВА МЭМС-ИЗДЕЛИЙ В РОССИИ НА ПЕРИОД ДО 2017 Г. Д. М. Урманов Представлена концепция развития производства МЭМС-изделий в России на период до 2017 г. Она отображает современные представления о действиях, которые необходимо предпринять для создания современного отечественного производства МЭМС-изделий, и включает шесть этапов, от разработки и моделирования до организации серийного производства. <...> АКТУАЛЬНОСТЬ ПРОБЛЕМЫ За период, прошедший с начала XXI века и до настоящего времени, одним из наиболее интенсивно и динамично развивающихся направлений мировой индустрии стала микросистемная техника. <...> Ее стремительное развитие в основном основано на разработке и производстве различных миниатюрных датчиков инерциальной и внешней информации, микродвигателей и преобразователей. <...> Применение новых технологий микроэлектромеханических систем (МЭМС) позволило значительно уменьшить массовогеометрические характеристики, энергопотребление и стоимость датчиков, что позволило расширить сферу применения микросистемной техники в народном хозяйстве. <...> Проблема разработки и производства новых МЭМС-устройств является, безусловно, актуальной для российского прецизионного микроэлектронного приборостроения и может быть решена с помощью применения новых технологий, технических решений и методик проектирования на основе новых математических моделей функционирования и программных продуктов. <...> Достижение высоких точностей МЭМС-изделий ставит перед разработчиками комплекс новых актуальных задач: учет физических свойств новых конструкционных материалов, влияние инструментальных погрешностей изготовления чувствительных элементов и условий функционирования на погрешности измерений датчиков, развитие и улучшение отечественной технологии МЭМС, сокращение сроков проектирования и изготовления прототипов новых МЭМС, комплексная проверка проектов до начала фактического <...>