Национальный цифровой ресурс Руконт - межотраслевая электронная библиотека (ЭБС) на базе технологии Контекстум (всего произведений: 610252)
Контекстум
Датчики и системы. Sensors & Systems  / №7 (158) 2012

ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ С МОНОЛИТНЫМ ДИЭЛЕКТРИКОМ ДЛЯ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ (150,00 руб.)

0   0
Первый авторБелозубов
АвторыБелозубова Н.Е., Васильев В.А.
Страниц7
ID600038
АннотацияРассмотрены тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с монолитным диэлектриком Показаны преимущества и недостатки различных вариантов построения таких систем.
УДК681.586’326:539.2
Белозубов, Е.М. ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ С МОНОЛИТНЫМ ДИЭЛЕКТРИКОМ ДЛЯ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ / Е.М. Белозубов, Н.Е. Белозубова, В.А. Васильев // Датчики и системы. Sensors & Systems .— 2012 .— №7 (158) .— С. 46-52 .— URL: https://rucont.ru/efd/600038 (дата обращения: 17.04.2025)

Предпросмотр (выдержки из произведения)

о готовящемся нарушении функционирования объекта нефтегазовой составляющей ТЭК Сахалинской области не менее чем за 3—5 ч. <...> Обеспечивать повышение эффективности мониторинга функционирования объекта нефтегазовой составляющей ТЭК Сахалинской области до значения 0,7—0,8. <...> Исходя из требований к обеспечению бесперебойности и безопасности функционирования объектов ТЭК, предъявляемых к комплексной системе дистанционного мониторинга, сформированы специальные требования: — вероятность функционирования системы дистанционного мониторинга с заданным уровнем оперативных требований, связанных с вероятностью воздействия природных явлений и процессов, должна составлять не менее 0,7; — время цикла управления контроля бесперебойности и безопасности функционирования объектов ТЭК — не более 4 ч; — время обнаружения нарушения бесперебойности и безопасности функционирования объекта нефтегазовой составляющей ТЭК не должна превышать 2 ч; — время перевода комплексной системы дистанционного мониторинга на базе БПЛА из состояния технического обслуживания в состояние старта должно быть не более 2 ч; — степень автоматизации процессов передачи информации по мониторингу бесперебойности и безопасности функционирования объектов ТЭК — не менее 0,75; — доля удаленных объектов ТЭК и его составляющих или площади, контролируемой комплексной системой дистанционного мониторинга, должна составлять не менее 0,8. <...> 55-49-66 E-mail: skb@skbsami.ru  УДК 681.586’326:539.2 ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ С МОНОЛИТНЫМ ДИЭЛЕКТРИКОМ ДЛЯ ДАТЧИКОВ ДАВЛЕНИЯ Е. М. <...> Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев Рассмотрены тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы с монолитным диэлектриком. <...> Ключевые слова: тонкопленочные емкостные микроэлектромеханические системы (ТЕНиМЭМС), монолитный диэлектрик. <...> При изготовлении тонкопленочных емкостных датчиков давления используется та же тонкопленочная <...>