УДК 621.317 ИЗМЕРЕНИЕ ОТНОСИТЕЛЬНОЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ ПРОНИЦАЕМОСТИ ПОЛИКОРОВЫХ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ СВЧ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ1 А. Ф. Копылов, Ю. П. Саломатов, А. А. Сенченко Приведены результаты исследования относительной диэлектрической проницаемости подложек из поликора, используемых для реализации различных СВЧ-устройств. <...> Разработана измерительная система, основным элементом которой является микрополосковый прямоугольный измерительный резонатор, выполняющий роль измерительного датчика. <...> Полученные результаты сопоставлены с соответствующими величинами, измеренными прибором E4991A-002 фирмы Agilent Technologies, а также с паспортными значениями относительной диэлектрической проницаемости поликоровых подложек. <...> Ключевые слова: измерительная система, измерительный датчик, микрополосковая линия передачи, относительная диэлектрическая проницаемость подложек. <...> ВВЕДЕНИЕ Несмотря на то, что современная тенденция в развитии сверхвысокочастотной (СВЧ) техники характеризуется массовым переходом от гибридных интегральных схем (ГИС) СВЧ к монолитным интегральным схемам (МИС) [1], многие задачи, возникающие при построении СВЧ-устройств различного функционального назначения, все еще могут быть успешно решены путем использования традиционной техники ГИС СВЧ. <...> К таким устройствам относятся фильтры [2], согласующие цепи [3], цепи передачи СВЧ-энергии и сигналов [4], микрополосковые антенны [5] и другие устройства СВЧ дециметрового и сантиметрового диапазонов длин волн, где размеры элементов длинных линий в свободном пространстве весьма велики, что требует применения в качестве конструктивной основы ГИС СВЧ-подложек с достаточно большой величиной относительной диэлектрической проницаемостью εr. <...> Основная цель проведенных исследований — разработка и реализация быстрого и дешевого метода измерения величины εr для реализации функции входного контроля диэлектрических подложек типа “поликор” при малосерийных применениях <...>