“13” МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ГИРОСКОПЫ: К содержанию СОСТОЯНИЕ РАЗРАБОТОК И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ1 А. А. Тыртычный, А. И. Скалон Статья содержит краткий обзор конструкций и принципов функционирования микромеханических гироскопов на поверхностных акустических волнах и кольцевых волновых микромеханических гироскопов. <...> Приведено краткое описание конструкции и принципа функционирования автоколебательного микромеханического гироскопа, позволяющего в существенной степени решить проблемы, связанные с этими недостатками. <...> Ключевые слова: обзор, микромеханика, гироскоп, конструкция, принцип функционирования, поверхностные акустические волны, кольцевой волновой гироскоп, автоколебания. <...> Микромеханические гироскопы (ММГ) — наиболее сложные МЭМС Работы по созданию ММГ начались в 90-х годах прошлого века в ряде ведущих лабораторий и институтов зарубежных стран. <...> В настоящее время несколько крупных зарубежных фирм серийно выпускают ММГ, например, Analog Devices, Silicon Sensing, Honeywell, Bosch, Systron Donner, Murata и др. <...> . В зарубежных странах ММГ широко используются в автомобильной промышленности, робототехнике, системах управления и стабилизации различных объектов (беспилотных летательных аппаратов, управляемых реактивных снарядах, системах стабилизации изображения и т. п.) <...> Привлекательными качествами этих приборов, определившими их быстрое развитие, являются предельно малые габариты, высокая надежность и низкая стоимость, достигаемые путем использования групповых технологий микроэлектроники, адаптированных к изготовлению микромеханических устройств. <...> В Японии микромеханические приборы разрабатывают корпорации: Fujitsu, Nippon Soken, Toyota, Matsushita Electric Industrial. <...> Отказ от классических схем гироскопов с вращающимся ротором не только устраняет наименее надежные узлы прибора, но и существенно упрощает его конструкцию, делая ее совместимой с технологической базой микроэлектроники. <...> Как правило, современные ММГ представляют собой электромеханические <...>