Национальному исследовательскому ядерному университету МИФИ — 70 лет 24. <...> A novel isolation technology in bulk micromachining using deep reactive ion etching and polisilicon refill //J. of Micromеchanics and Microengeneering. <...> Micromachining of multi-thickness sensor-array structures with dual-stage etching technology // J. of Micromеchanics and Microengeneering. <...> Основные технологические процессы изготовления трехмерных МЭМС на кремнии. <...> Особенности технологии изготовления КНИ-структур прямым сращиванием пластин кремния и контроля их качества. <...> Режим доступа: <http://www. coventor.com/> Бочкарева Василиса Владимировна — аспирант; E-mail: vasilisa842@yandex.ru Веселов Денис Сергеевич — аспирант; E-mail: veselovds@mail.ru Воронов Юрий Александрович — канд. техн. наук, доцент; E-mail: yavoronov@mephi.ru Подлепецкий Борис Иванович — канд. техн. наук, доцент; E-mail: bipod45@gmail.com Тайдаков Лев Олегович — студент НИЯУ МИФИ; E-mail: lev@tajdakov.com Тарасов Никита Александрович — студент НИЯУ МИФИ; E-mail: vranlol@narod.ru К содержанию РАЗРАБОТАН НОВЫЙ МЕТОД ГАЗОАНАЛИЗА Ученые из Физического института им. <...> П. Н. Лебедева РАН разработали новый метод газоанализа, основанный на записи спектра поглощения частиц по измерению сдвига фазы излучения диодного лазера. <...> Метод отличается высокой чувствительностью и позволяет регистрировать спектр поглощения с высоким разрешением, что особенно важно в работе со слабо поглощающими частицами. <...> Он состоит в измерении сдвига фазы модулированного по амплитуде излучения на выходе из объекта в сравнении с фазой излучения, падающего на объект. <...> В оптике подобный способ используется с 1933 г. для измерения времен жизни возбужденных состояний частиц. <...> В 1980 г. с его помощью было определено время жизни фотона в оптическом резонаторе, составленном из зеркал. <...> Со временем такой тип методов применительно к измерению поглощения получил название PS-CRDS (phase shift cavity ring-down spectroscopy, т. е. спектроскопия по фазовому сдвигу затухающего излучения, проходящего через резонатор), или CAPS (cavity attenuated phase shift — фазовый сдвиг при затухании излучения в резонаторе). <...> Большую популярность в оптических исследованиях <...>