Национальному исследовательскому ядерному университету МИФИ — 70 лет ЖУРНАЛ В ЖУРНАЛЕ Главный pедактоp — д-p техн. наук, пpофессор В. Ю. Кнеллеp УДК 629.73.05 К содержанию КОНСТРУКТИВНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ДАТЧИКОВ УСКОРЕНИЯ НА ОСНОВЕ МЭМС-ТЕХНОЛОГИЙ1 В. В. Бочкарева, Д. С. Веселов, Ю. А. Воронов, Б. И. Подлепецкий, Л. О. Тайдаков, Н. А. Тарасов Представлены типовые конструкции чувствительных элементов, параметры и технологии изготовления датчиков ускорения на основе кремниевых преобразователей с применением технологий микроэлектромеханических систем (МЭМС). <...> Ключевые слова: микроэлектронные датчики ускорения, акселерометры, инерционная масса, упругие элементы, тензопреобразователи, микроэлектромеханические структуры, МЭМС-технология. <...> ВВЕДЕНИЕ Технология микроэлектромеханических систем — МЭМС-технология (Micro-Electro-Mechanical Systems technology — MEMS-technology) зародилась в США еще в 1960-е годы прошлого века. <...> Самыми первыми разработками на основе МЭМС-технологий стали простейшие резисторные и емкостные датчики давления и ускорения, серийные образцы которых появились в США и СССР практически одновременно в середине 1970-х годов. <...> ” 68 Sensors & Systems · ¹ 11.2012 барометров, электронных весов, гироскопов, микрофонов, сопла для струйных принтеров, микрозеркала, микродвигатели, микрокоммутаторы и другие МЭМС. <...> В последние 10 лет МЭМС нашли применение в различных научно-технических областях: оптике, гидравлике, механике, теплотехнике, вычислительных машинах, а также во многих устройствах бытового и потребительского назначения (системах безопасности автомобилей, медицинских приборах и имплантатах). <...> . Повышенное внимание уделяется разработкам датчиков ускорения на основе кремниевых тензопреобразователей, объем производства которых среди всех типов датчиков механических величин составляют сегодня 16 %. <...> Датчики ускорения, которые в соответствии с английской терминологией модно называть “акселерометрами”, широко применяются <...>