Национальному исследовательскому ядерному университету МИФИ — 70 лет УДК 621.385.833.2 МЕТОДЫ ПОВЫШЕНИЯ БЫСТРОДЕЙСТВИЯ СКАНИРУЮЩЕГО ЗОНДОВОГО МИКРОСКОПА В. В. <...> Мещеряков, В. В. Масленников, А. В. Мещеряков Для повышения быстродействия сканирующего зондового микроскопа в динамическом режиме предлагается использовать методы переменной скорости сканирования и динамического регулирования. <...> Ключевые слова: сканирующий зондовый микроскоп, скорость сканирования, пьезокерамический зонд камертонного типа. <...> Для получения изображения поверхности материалов и исследования их физических свойств применяются зондовые сканирующие микроскопы (СЗМ). <...> Наиболее прецизионным режимом СЗМ считается динамический [1]. <...> В этом режиме при возбуждении от внешнего генератора зонд — консоль совершает поперечные колебания на частоте, близкой к значению резонансной частоты собственных механических колебаний консоли. <...> В режиме автоколебаний частота колебаний консоли точно равна указанной резонансной частоте. <...> Игла зонда, расположенная на свободном конце консоли (кантилевера), касается поверхности образца в крайней точке своей траектории. <...> Недостатком СЗМ в динамическом режиме является его относительно низкая производительность. <...> Например, для получения изображения рельефа поверхности исследуемого образца в поле сканирования 100Ч100 мкм2 может быть затрачено несколько часов. <...> Основным ограничением увеличения скорости сканирования в указанном режиме является величина постоянной времени кантилевера τс = 2Q/ω0, где ω0 — собственная резонансная частота кантилевера, Q — его добротность. <...> Это позволяет значительно увеличить скорость сканирования в контактном режиме при использовании, например, высокочастотного пьезоэлектрического стекового актюатора [2]. <...> Но во многих случаях желателен динамический режим, поскольку при этом отсутствуют боковые силы, действующие со стороны иглы зонда на образец, из-за которых возможен износ <...>