ЖУРНАЛ В ЖУРНАЛЕ Главный pедактоp — д-p техн. наук, пpофессор В. Ю. Кнеллеp УДК 621.744.37.008.6 КОНТРОЛЬ ТОЛЩИНЫ НАНОПОКРЫТИЙ А. И. <...> Юрин, В. В. Филимонов, Е. А. Карцев Рассмотрены перспективы применения и основные методы нанесения нанопокрытий, а также методы и средства измерений толщины покрытий нанометрового диапазона. <...> Приведена сравнительная оценка разрешающей способности и погрешности различных методов измерения толщин нанопокрытий. <...> Одна из относительно простых в технологическом исполнении структур, получившая широкое распространение — нанопокрытия толщиной 0,5.200 нм. <...> Как показывает практика, нанопокрытие в состоянии защитить любой материал и любой тип поверхности от механических, химических и биологических воздействий. <...> МЕТОДЫ НАНЕСЕНИЯ НАНОПОКРЫТИЙ Структура, состав и способ нанесения нанопокрытия могут быть различными. <...> Эти процессы основаны на различных по сути явлениях — физическом (PVD) и химическом (CVD) осаждении, однако конечный результат и в том, и в другом случае — осаждение материала покрытия из газовой фазы на обрабатываемую поверхность. <...> 60 Sensors & Systems • ¹ 1.2012 Процесс PVD обозначает группу методов, при которых покрытие получается путем конденсации паров наносимого материала. <...> Нанесение покрытий методом PVD проводится при температуре до 450 °С, что практически не налагает ограничений по используемым материалам, на которые наносится покрытие. PVD-процессы проводят в вакууме или в атмосфере рабочего газа при достаточно низком давлении [1]. <...> В противоположность процессам PVD, при использовании CVD в камеру для нанесения покрытия подается смесь газов, причем для протекания необходимых химических реакций требуется температура до 1100 °С. <...> Метод CVD практически не имеет ограничений по химическому составу покрытий [2], а какие покрытия при этом образуются зависит от комбинации материалов и параметров процесса. <...> Структура сервовитной пленки: 1 — полимерная пленка; 2 — медная пленка; 3 — основной материал <...>