УДК 658.512.011.56:62-82 К содержанию ОСОБЕННОСТИ МНОГОМАСШТАБНОГО МОДЕЛИРОВАНИЯ МИКРООПТОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ С УЧЕТОМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПОГРЕШНОСТЕЙ1 Л. А. Зинченко, И. А. Косолапов, В. А. Шахнов Рассмотрены особенности многомасштабного иерархического моделирования микрооптоэлектромеханических систем. <...> Рассмотрено влияние технологических погрешностей на конечные характеристики микрооптоэлектромеханических систем. <...> Предложены подходы, проиллюстрированные на примере микрооптоэлектромеханического акселерометра на основе интерферометра Фабри-Перо. <...> Это обусловлено переходом в область глубокого субмикрона, где все большее влияние оказывают квантово-механические эффекты. <...> Одним из возможных путей решения проблемы является разработка принципиально новых устройств, основанных на комбинации физических эффектов различной природы. <...> В сочетании с оптическими эффектами, такими как интерференция и др., появляется возможность создания принципиально новых устройств, сочетающих в себе преимущества оптических, механических и электрических эффектов. <...> Микрооптоэлектромеханические системы (МОЭМС) — принципиально новые устройства, сочетающие в себе оптические эффекты интерференции света, механические эффекты деформации и преобразование электрических импульсов в цифровой код с последующей обработкой и предоставлением в понятном виде пользователю. <...> Микрооптоэлектромеханические системы имеют лучшие характеристики в сравнении с классическими микроэлектромеханическиими системами, поскольку не подвержены воздействию электромагнитного излучения и старению [1—3]. <...> МОЭМС применяются в различных областях промышленности и производства: от использования в качестве датчиков давления в агрессивных средах до установки в возимую аппаратуру и применения в авиационной и автомобильной промышленности. <...> Поскольку моделирование МОЭМС — нетривиальная задача, а решение дифференциальных уравнений второго <...>