КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 621.38.049.77 ВИЗУАЛИЗАЦИЯ ВОЗДУШНОГО ПОТОКА С ПОМОЩЬЮ МАТРИЦЫ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ ДАВЛЕНИЯ И. В. <...> Годовицын, П. А. Сывороткин, В. В. Панков, В. В. Амеличев Рассмотрена разработанная и изготовленная в НПК “Технологический центр” измерительная линейка, предназначенная для визуализации воздушного потока, которая включает 16 миниатюрных кремниевых преобразователей давления, изготовленных на КНИ-структуре. <...> ВВЕДЕНИЕ Несмотря на широкое развитие средств математического моделирования, при разработке изделий и конструкций, к аэродинамическим характеристикам которых предъявляются жесткие требования (летательные аппараты, автомобили, высотные здания и т. д.), по-прежнему применяется натурный способ получения данных о распределении воздушного потока — продувка уменьшенных копий изделий в аэродинамической трубе. <...> Получаемая картина воздушного потока называется аэродинамическим спектром тела. <...> На основе анализа аэродинамического спектра может быть проведена эффективная оптимизация формы изделия или конструкции и достигнуты более высокие значения параметров назначения (например, скорость и расход топлива для летательных аппаратов и автомобилей, высота и ветроустойчивость для высотных зданий). <...> Прогресс в области развития кремниевых преобразователей давления дает возможность получения аэродинамических спектров с помощью прямого измерения давления воздушного потока. <...> Для этого преобразователи давления размещаются на поверхности изделия в небольших отверсти44 Sensors & Systems · ¹ 11.2013 ях. <...> Выводы преобразователей располагаются внутри объекта, где подсоединяются к общей шине данных. <...> В наибольшей степени данным требованиям удовлетворяют миниатюрные тензорезистивные преобразователи давления. <...> Миниатюрные тензорезистивные преобразователи давления изготавливаются с помощью технологии поверхностной микрообработки кремния [3]. <...> Небольшая толщина <...>