КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.586’33.681.542.7 ВЛИЯНИЕ ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ РЕЖИМОВ МДП-ТРАНЗИСТОРНЫХ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ НА ХАРАКТЕРИСТИКИ ДАТЧИКОВ ВОДОРОДА Б. И. <...> Подлепецкий, А. В. Коваленко, Д. А. Куракин, М. Ю. Никифорова, Ю. В. Самоварщиков Приведены результаты исследования зависимости метрологических и эксплуатационных характеристик интегральных датчиков водорода от электрических режимов работы МДП-транзисторных чувствительных элементов и вида измерительных схем. <...> Даны рекомендации по оптимальному выбору электрических режимов для различных схем включения и областей применения датчиков. <...> Ключевые слова: интегральные датчики водорода, МДП-транзисторные элементы, электрические режимы, метрологические характеристики датчиков. <...> ВВЕДЕНИЕ На кафедре микро- и наноэлектроники НИЯУ МИФИ разработан ряд интегральных датчиков водорода с конденсаторными и транзисторными чувствительными элементами на основе МДП-структур “палладий—диэлектрик— кремний” [1—4], из которых наилучшие характеристики имеет интегральная базовая ячейка, содержащая на одном чипе чувствительные к водороду МДП-транзисторный элемент со структурой Pd—Ta2O5—SiO2—Si (ТЧЭ) и палладиевый резистор, а также резисторный нагревательный элемент и тестовый МДП-транзистор, используемый и как датчик в схеме стабилизации рабочей температуры ТЧЭ. <...> Структура и топология такой ячейки представлены в работах [3, 4], где показано, что в сравнении с Pd-резистором ТЧЭ имеет лучшие метрологические и эксплуатационные характеристики. <...> Для получения рекомендаций по практическому применению ТЧЭ как элемента интегральных датчиков водородосодержащих газов необходимо оценить влияние различных факторов на его рабочие характеристики. <...> Ниже приводятся результаты исследования влияния вида измерительных схем и электрических режимов работы ТЧЭ на метрологические и эксплуатационные характеристики датчиков водорода на их <...>