А во-вторых, желательно, чтобы степени аппроксимирующих полиномов были не очень высокими, чтобы не усложнять вычисления. <...> Дополнительно отметим, что при таком алгоритме нахождения температуры отсутствует характерное для энергетических пирометров нарушение прослеживаемости к первичному эталону единицы температуры. <...> Объективные методы высокотемпературной пирометрии при непрерывном спектре излучения. <...> Методические погрешности современных пирометров и способы их минимизации // Метрология. <...> 437-32-01 www.pyrometer.ru УДК 535.411.854 КОРРЕКЦИЯ ШАГА СКАНИРОВАНИЯ В ИНТЕРФЕРОМЕТРЕ ПРОДОЛЬНОГО СДВИГА ПРИ НАЛИЧИИ ВИБРАЦИЙ И НЕЛИНЕЙНОСТИ СКАНИРУЮЩЕЙ СИСТЕМЫ Е. В. <...> Сысоев, И. А. Выхристюк, Р. В. Куликов Предложен способ уменьшения погрешности измерения нанорельефа поверхности интерферометром продольного сдвига путем снижения влияния синхронной помехи (вибраций интерферометра, турбулентности воздуха в области измерения и др.) и нелинейности сканирующей системы. <...> Способ основан на расчете шагов сканирования и линеаризации фазового сдвига между интерферограммами. <...> ВВЕДЕНИЕ Техника измерения рельефа поверхности методами низкокогерентной интерферометрии широко известна и часто применяется для решения контрольно-измерительных задач. <...> Высокая точность измерений достигается посредством определения фазы света, рассеянного различными участками измеряемой поверхности. <...> В процессе измерения производится перемещение всего интерферометра или его части (например, зеркала в опорном канале) с заданным шагом (сканирование) для получения набора интерферограмм. <...> По набору интерферограмм определяются параметры коррелограмм (зависимость интенсивности света от координаты сканирования) в каждой точке измеряемой поверхности. <...> Применение Фурье-анализа или метода минимизации среднеквадратического отклонения (СКО) к коррелограммам позволяет рассчитать абсолютную высоту рельефа либо изменение его высоты <...>