КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.2.081 МЕТОД ПОВЫШЕНИЯ ПРОЧНОСТИ КОНСТРУКЦИЙ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИХ ДАТЧИКОВ НА ПОВЕРХНОСТНЫХ АКУСТИЧЕСКИХ ВОЛНАХ С ГАЛЬВАНИЧЕСКИ ОСАЖДЕННЫМИ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫМИ ЭЛЕМЕНТАМИ А. Р. <...> Бестугин, И. А. Киршина, П. А. Окин, О. М. Филонов Рассмотрен метод повышения прочности адгезионного соединения дополнительной инерционной массы, гальванически осаждаемой на поверхность пьезокристалла для повышения чувствительности микромеханического датчика угловой скорости на поверхностных акустических волнах. <...> Проанализировано влияние водородного охрупчивания титановых пленок на разрушение адгезионной связи и предложены технологические способы минимизации этого негативного явления. <...> Микромеханические инерциальные датчики на поверхностных акустических волнах, прочность адгезионной связи, гальваническое осаждение, сила Ван-дер-Ваальса. <...> ВВЕДЕНИЕ Отличительная особенность инерциальных микромеханических датчиков на поверхностных акустических волнах (ПАВ) состоит в том, что функционально важные элементы конструкции синтезированы на поверхности кристалла, по которой в процессе работы распространяется волна. <...> Если сила адгезии между напыленными и гальванически осажденными слоями функционального элемента и подложкой оказывается меньше возникающей при волновых процессах силы инерции, приложенной к центру масс инерционного элемента, то необходимо предотвратить возможность разрушения изделия из-за развития микротрещин в зонах адгезионного контакта, например, в титановых пленках со значительным содержанием водорода. <...> Одна из главных технологических задач, которую приходится решать при производстве инерциальных микромеханических датчиков на ПАВ — микрогироскопов и микроакселерометров, — формирование на поверхности подложки дополнительных инерционных элементов. <...> Такие элементы в виде локализованных масс повышают чувствительность <...>