КОНСТРУИРОВАНИЕ И ПРОИЗВОДСТВО ДАТЧИКОВ, ПPИБОPОВ И СИСТЕМ УДК 681.586`36.534.414 ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ НА ОСНОВЕ РЕЗОНАТОРА НА ПАВ ДЛЯ ДАТЧИКОВ ТЕМПЕРАТУРЫ С ТЕРМОМЕТРИЧЕСКОЙ ЛУПОЙ1 Р. Г. Крышталь, А. В. Медведь, Ф. Е. Проказин, А. А. Соколова Приведены результаты исследования резонаторов на ПАВ со звукопроводом из “черного” ниобата лития в качестве чувствительных элементов с частотным форматом выходного сигнала для датчиков температуры в диапазоне до 250 °С с линейной характеристикой и точностью измерения ∼0,1 °С. <...> Предложена и экспериментально продемонстрирована методика применения таких чувствительных элементов с фазовым форматом выходного сигнала в качестве термометрической “лупы”, позволяющая обнаруживать и измерять малые изменения температуры (∼0,002 °С), происходящие в окрестностях фиксированной температуры, “грубо”, с точностью 0,1 °С, измеренной чувствительным элементом в частотном формате. <...> Ключевые слова: поверхностные акустические волны, пьезоэлектрик, резонатор, S-параметры, чувствительный элемент датчика, температура, частота, фаза, отклик, подложка, встречно-штыревой преобразователь. <...> ВВЕДЕНИЕ Устройства на поверхностных акустических волнах (ПАВ) на протяжении многих лет применяются в качестве чувствительных элементов (ЧЭ) целого ряда современных датчиков различных физических величин и, в частности, температуры [1]. <...> В датчиках температуры в качестве ЧЭ наибольшее распространение получили резонаторы и линии задержки на ПАВ [2]. <...> Принцип действия этих ЧЭ основан на естественной зависимости от температуры параметров материала звукопровода (главным образом, упругих констант, плотности). <...> При изменении температуры звукопровода изменяется скорость распространения ПАВ, что приводит к изменению частоты автогенератора с устройством на ПАВ в цепи обратной связи или к изменению времени задержки, если это линия задержки. <...> Чувствительность датчиков 1 Данная работа <...>