59–65 УДК 550.341.2;539.25:620.187 ИЗМЕРЕНИЕ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИХ СВОЙСТВ МЕТАЛЛИЧЕСКИХ МИКРОКОНТАКТОВ С ПРИМЕНЕНИЕМ МЕТОДОВ ФРАКТАЛЬНОЙ ГЕОМЕТРИИ ДЛЯ АНАЛИЗА ДАННЫХ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ © 2017 г. С. В. Кутровская*, А. А. Антипов, С. М. Аракелян, А. О. Кучерик**, А. В. Осипов Владимирский государственный университет, 600000 Владимир, Россия *E-mail: 11stella@mail.ru **E-mail: kucherik@vlsu.ru Поступила в редакцию 30.07.2016 г. Предложен новый подход к изучению проводимости металлических микроконтактов фрактального типа. <...> Показано, что сопротивление такого микроконтакта существенно зависит от его морфологии − совокупной характеристики, включающей в себя размер, форму и пространственную организацию, определяемых с использованием атомно-силового микроскопа. <...> Предложен метод расчета сопротивления микроконтакта путем измерения его карты высот. <...> DOI: 10.7868/S0207352817010152 ВВЕДЕНИЕ Применение методов туннельной микроскопии позволяет исследовать проводящие материалы с высоким пространственным разрешением [1, 2]. <...> Существенным преимуществом данного метода является возможность измерения свойств материалов на открытом воздухе без создания специальных условий [3]. <...> Однако применение туннельной микроскопии требует нанесения исследуемого материала на проводящую поверхность [4, 5], что в некоторых случаях существенно затрудняет исследование свойств материалов. <...> В рамках настоящей работы рассматривается подход к изучению проводящих свойств металлических микроконтактов, нанесенных на стеклянные подложки, с применением методов атомносиловой микроскопии. <...> Формирование металлических микроконтактов на поверхности диэлектриков – актуальная задача микро- и наноэлектроники. <...> В случае, когда контакт является конгломератом спекшихся наночастиц, данная система является неоднородной и представляет собой ансамбль омических контактов и областей, которые легко можно представить в виде эквивалентной резисторной схемы [6–8] для проведения соответствующих <...>