16–26 УДК 537.9 ВЛИЯНИЕ ЛАЗЕРНОГО ОБЛУЧЕНИЯ И ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ НА СТРОЕНИЕ И АВТОЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА УГЛЕРОДНЫХ НАНОСТЕНОК © 2017 г. А. <...> В.А. Котельникова РАН, 125009 Москва, Россия 4Научно-производственное предприятие “Технологии радиочастотной идентификации и связи”, 127051 Москва, Россия *Е-mail: belyanin@cnititm.ru Поступила в редакцию 12.07.2016 г. Методами растровой электронной микроскопии, рентгеновской дифрактометрии, ИК-спектроскопии и спектроскопии комбинационного рассеяния света исследованы состав и строение углеродных наностенок, сформированных на кремниевых подложках из газовой фазы водорода и метана, активированной тлеющим разрядом постоянного тока. <...> Показано, что наностенки представляют собой пористый материал, состоящий из изогнутых пластинчатых (чешуйчатых) кристаллитов толщиной 3–10 нм. <...> Изучено влияние термической обработки и лазерного облучения на воздухе на строение углеродных наностенок, а также получены вольт-амперные характеристики автоэмиссионных катодов, изготовленных на их основе. <...> Установлены значения температуры нагрева и плотностей мощности лазерного облучения, при которых происходит изменение морфологии поверхности углеродных наностенок и характеристик автоэмиссионных катодов на их основе. <...> Ключевые слова: углеродные наностенки, электронная микроскопия, спектроскопия комбинационного рассеяния света, автоэмиссионные катоды. <...> DOI: 10.7868/S0207352817030052 ВВЕДЕНИЕ Различные кристаллические (графит, алмаз) и некристаллические упорядоченные (фуллерен, нанотрубки, графен) углеродные материалы представляют практический интерес, в частности их используют в качестве эмитирующего слоя автоэмиссионных (ненакаливаемых) катодов, применяемых при создании рентгеновских трубок, СВЧ-приборов, электронных пушек для возбуждения лазеров, катодолюминесцентных осветительных приборов, плоских дисплеев и других устройств [1–4]. <...> Наличие автоэмиссии означает снижение до 1–10 В/мкм напряженности <...>